[發(fā)明專利]一種薄膜電容器加工用金屬薄膜蒸鍍設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910370868.3
• 申請日: 2019-05-06
• 公開（公告）號: CN110205601B
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬廣文
• 申請（專利權(quán)）人: 銅陵市啟動電子制造有限責任公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/14;C23C14/24;H01G13/00
• 代理公司: 合肥匯融專利代理有限公司 34141
• 代理人: 張雁

本發(fā)明涉及電容器加工設(shè)備，提供一種薄膜電容器加工用金屬薄膜蒸鍍設(shè)備，旨在解決傳統(tǒng)的蒸鍍裝置在對薄膜進行蒸鍍時，蒸發(fā)源的受熱不均，會導(dǎo)致蒸鍍的厚度不一致、層次不均勻，且蒸鍍效率較慢，影響薄膜電容器生產(chǎn)效率的問題，包括外箱、外箱下端安裝的多個支撐腳和外箱前壁上安裝的箱門，所述外箱的上端安裝有抽真空機，且抽真空機的輸入端上安裝有抽真空管，抽真空管的下端延伸至外箱的內(nèi)腔下部，所述外箱的內(nèi)腔設(shè)有薄膜卷，且薄膜卷上纏繞有薄膜，所述薄膜的另一端依次繞過清潔組件、兩個轉(zhuǎn)向輥和冷卻組件并纏繞在薄膜收卷輥上；本發(fā)明尤其適用于金屬化薄膜的高效率蒸鍍加工，具有較高的商業(yè)前景。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電容器加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種薄膜電容器加工用金屬薄膜蒸鍍設(shè)備。

背景技術(shù)

金屬化薄膜作為薄膜電容器中的芯組材料，其中包括普通金屬化膜和金屬化安全膜，蒸鍍是將材料在真空環(huán)境中加熱，使之氣化并沉積到基片而獲得薄膜材料的方法，又稱為真空蒸鍍或真空鍍膜。

現(xiàn)有的薄膜電容器在加工時需要針對內(nèi)部的薄膜進行蒸鍍，形成金屬化薄膜，從而保證薄膜的特性符合薄膜電容器的生產(chǎn)要求，傳統(tǒng)的蒸鍍裝置在對薄膜進行蒸鍍時，一方面由于蒸發(fā)源的受熱不均，會導(dǎo)致蒸鍍的厚度不一致、層次不均勻，進而引發(fā)的薄膜電容器安全質(zhì)量問題，另一方面，市場上的蒸鍍裝置蒸鍍效率較慢，需要耗費大量的時間去加工金屬化膜，影響薄膜電容器的生產(chǎn)效率。

公開號為CN205774774U的專利，公開了一種蒸鍍裝置，包括蒸鍍坩堝、蒸鍍防沸板和頂蓋，所述蒸鍍坩堝上設(shè)置有所述蒸鍍防沸板；所述蒸鍍防沸板和頂蓋之間設(shè)置有蒸鍍腔室；所述蒸鍍腔室連接有與所述蒸鍍腔室連通的可拆卸的冷卻室；還包括設(shè)置在所述冷卻室和所述蒸鍍腔室之間的隔板，用于導(dǎo)通或分隔所述蒸鍍腔室和冷卻室。該裝置可使得蒸鍍過程中氣體更快達到蒸汽壓，提高蒸鍍效率，但是該裝置在進行蒸鍍時，會導(dǎo)致影響蒸鍍的厚度和層次，為此，我們提出了一種薄膜電容器加工用金屬薄膜蒸鍍設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容

(1)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，適應(yīng)現(xiàn)實需要，提供一種薄膜電容器加工用金屬薄膜蒸鍍設(shè)備，以解決傳統(tǒng)的蒸鍍裝置在對薄膜進行蒸鍍時，蒸發(fā)源的受熱不均，會導(dǎo)致蒸鍍的厚度不一致、層次不均勻，且蒸鍍效率較慢，需要耗費大量的時間去加工金屬化膜，影響薄膜電容器生產(chǎn)效率的問題。

(2)技術(shù)方案

為了實現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：

一種薄膜電容器加工用金屬薄膜蒸鍍設(shè)備，包括外箱、外箱下端安裝的多個支撐腳和外箱前壁上安裝的箱門，所述外箱的上端安裝有抽真空機，且抽真空機的輸入端上安裝有抽真空管，抽真空管的下端延伸至外箱的內(nèi)腔下部，所述外箱的內(nèi)腔設(shè)有薄膜卷，且薄膜卷上纏繞有薄膜，所述薄膜的另一端依次繞過清潔組件、兩個轉(zhuǎn)向輥和冷卻組件并纏繞在薄膜收卷輥上，兩個所述轉(zhuǎn)向輥、薄膜卷和薄膜收卷輥均轉(zhuǎn)動安裝在外箱的內(nèi)腔后壁上，所述薄膜收卷輥的后端到達外箱的外腔并安裝在伺服電機的輸出端上，且伺服電機通過支架固定安裝在外箱的后壁上，所述外箱的內(nèi)腔下部設(shè)有蒸鍍裝置；

所述蒸鍍裝置包括安裝可拆卸安裝的蒸鍍箱和箱蓋，所述蒸鍍箱固定安裝在外箱的內(nèi)底壁上，且蒸鍍箱的內(nèi)底壁上固定安裝有加熱組件，所述箱蓋的內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動安裝有多個轉(zhuǎn)動軸，且轉(zhuǎn)動軸上固定套設(shè)有翻轉(zhuǎn)蓋板，所述轉(zhuǎn)動軸的后端到達箱蓋的外部并安裝有鏈輪，多個所述鏈輪通過鏈條傳動連接，其中一個所述鏈輪上同軸安裝有從動齒輪，且從動齒輪嚙合有直齒條上端的齒牙，所述直齒條的一端到達安裝套筒的內(nèi)腔并安裝有永磁鐵，所述永磁鐵滑動安裝在安裝套筒的內(nèi)腔，且安裝套筒固定安裝在箱蓋的后壁上，所述永磁鐵遠離直齒條的一側(cè)通過伸縮彈簧連接有電磁鐵，且電磁鐵固定安裝在安裝套筒的內(nèi)壁上；

所述外箱的內(nèi)腔中部固定安裝有隔溫結(jié)構(gòu)，且隔溫結(jié)構(gòu)位于兩個轉(zhuǎn)向輥之間，所述隔溫結(jié)構(gòu)包括兩個上下平行設(shè)置的隔溫板，且兩個隔溫板之間設(shè)有聚氨酯填充物，所述隔溫板固定安裝在外箱的內(nèi)壁上；