[發(fā)明專利]一種用于電子芯片散熱的梯度尺度孔隙燒結(jié)芯均熱板換熱器及其均熱板換熱器的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910369827.2 | 申請(qǐng)日： | 2019-05-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110010569A | 公開（公告）日： | 2019-07-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 沈超群;孫帥杰;劉向東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 揚(yáng)州大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01L23/367 | 分類號(hào)： | H01L23/367;H01L23/427;H01L23/467;H01L21/48 |
| 代理公司： | 揚(yáng)州蘇中專利事務(wù)所(普通合伙) 32222 | 代理人： | 許必元 |
| 地址： | 225009 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 均熱板 燒結(jié)芯 換熱器 電子芯片 散熱風(fēng)扇 尺度 散熱 制備 沸騰 尺寸孔隙 傳熱能力 底部中心 冷凝換熱 散熱技術(shù) 散熱肋片 受熱區(qū)域 芯片接觸 中心區(qū)域 冷壁面 冷凝液 力作用 微槽道 冷凝 槽道 抽吸 換熱 肋片 毛細(xì) 腔室 焊接 填充 蒸汽 體內(nèi) 擴(kuò)散 釋放 拓展 | ||
1.一種用于電子芯片散熱的梯度尺度孔隙燒結(jié)芯均熱板換熱器，其特征在于：所述換熱器由散熱風(fēng)扇(1)、脈絡(luò)狀散熱片(2)和燒結(jié)芯均熱板(3)組成；所述燒結(jié)芯均熱板(3)內(nèi)由均熱板基板(5)和均熱板蓋板(4)形成了中空腔室結(jié)構(gòu)，所述中空腔室內(nèi)設(shè)有梯度尺寸孔隙燒結(jié)芯，所述梯度尺寸孔隙燒結(jié)芯分三層，由小尺寸燒結(jié)芯層(8)、中尺寸燒結(jié)芯層(7)和大尺寸燒結(jié)芯層(6)構(gòu)成，所述小尺寸燒結(jié)芯層(8)靠近電子芯片(9)設(shè)置，所述均熱板蓋板(4)的一面設(shè)有脈絡(luò)狀槽道(14)，所述脈絡(luò)狀槽道(14)由槽道主枝(15)和槽道分枝(16)構(gòu)成，所述槽道主枝(15)由蓋板中心向四周分布，所述槽道分枝(16)分布在槽道主枝(15)的兩側(cè)，所述均熱板蓋板(4)與均熱板基板(5)緊固，所述脈絡(luò)狀槽道(14)所在面與所述梯度尺寸孔隙燒結(jié)芯貼合，所述均熱板蓋板(4)的另一面為光板結(jié)構(gòu)，所述脈絡(luò)狀散熱片(2)與所述脈絡(luò)狀槽道(14)的結(jié)構(gòu)相同，所述脈絡(luò)狀散熱片(2)固定設(shè)置在均熱板蓋板(4)的光板面上，所述脈絡(luò)狀散熱片(2)的位置與脈絡(luò)狀槽道(14)位置相對(duì)應(yīng)，所述散熱風(fēng)扇(1)和脈絡(luò)狀散熱片(2)通過螺栓與均熱板殼體(3)緊固連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電子芯片散熱的梯度尺度孔隙燒結(jié)芯均熱板換熱器，其特征在于：所述燒結(jié)芯均熱板(3)的殼體由均熱板基板(5)和均熱板蓋板(4)兩部分組成，均熱板基板(5)為5～12mm的金屬基板，在均熱板基板(5)上銑出3～10mm的槽，槽內(nèi)部填充梯度孔隙燒結(jié)芯；均熱板蓋板(4)為2～3mm的金屬蓋板，均熱板蓋板(4)一面銑有脈絡(luò)狀槽道，另一面焊接設(shè)有橫截面形狀與槽道相同的脈絡(luò)狀散熱片(2)，脈絡(luò)狀散熱片(2)是高度為15～30mm的金屬散熱肋片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電子芯片散熱的梯度尺度孔隙燒結(jié)芯均熱板換熱器，其特征在于：所述梯度尺寸孔隙燒結(jié)芯由不同粒徑的金屬粉末采用松裝燒結(jié)而成，小尺寸燒結(jié)芯層(8)的粉末粒徑為20～50微米，中尺寸燒結(jié)芯層(7)的粉末粒徑為50～100微米，大尺寸燒結(jié)芯層(8)的粉末粒徑為100～200微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電子芯片散熱的梯度尺度孔隙燒結(jié)芯均熱板換熱器，其特征在于：所述燒結(jié)芯均熱板(3)的殼體內(nèi)部燒結(jié)芯采用由內(nèi)至外呈放射狀分布的3層燒結(jié)芯結(jié)構(gòu)；或呈上下平行分布的3層燒結(jié)芯結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電子芯片散熱的梯度尺度孔隙燒結(jié)芯均熱板換熱器，其特征在于：所述脈絡(luò)狀槽道(14)由4支相同多級(jí)分叉槽道溝槽組成，分別占據(jù)槽道區(qū)域的1/4，分叉槽道從蓋板中心引出，各級(jí)槽道深度相同；1級(jí)槽道無分叉，其長度為
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于電子芯片散熱的梯度尺度孔隙燒結(jié)芯均熱板換熱器，其特征在于：所述燒結(jié)芯均熱板(3)內(nèi)充注并封裝有受熱后可發(fā)生相變的液體工作介質(zhì)。
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