[發明專利]基于TPA-DCPP有機敏感薄膜的平面式室溫氨氣傳感器及其制備方法

在審

• 申請號: 201910368007.1
• 申請日: 2019-05-05
• 公開（公告）號: CN110044973A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 劉方猛;賀俊銘;盧革宇;王悅;康博南;閆旭;梁喜雙;高原;劉曉敏
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 長春吉大專利代理有限責任公司 22201
• 代理人: 劉世純;王恩遠

1.一種基于TPA-DCPP有機敏感薄膜的平面式室溫氨氣傳感器，其特征在于：由下至上依次由Al₂O₃陶瓷板、金叉指電極基底、TPA-DCPP敏感材料薄膜組成，TPA-DCPP敏感材料薄膜的厚度為4～6μm，TPA-DCPP的結構式如下所示，

2.權利要求1所述的一種基于TPA-DCPP有機敏感薄膜的平面式室溫氨氣傳感器的制備方法，其步驟如下：

(1)制備TPA-DCPP敏感材料：通過Suzuki偶聯反應制備TPA-DCPP有機敏感材料；

(2)制備敏感材料旋涂液：量取三氯甲烷0.5～1.5mL，并稱取步驟(1)制備的TPA-DCPP敏感材料粉體18～22mg，將三氯甲烷與TPA-DCPP粉體混合并攪拌均勻，配得敏感材料旋涂液；

(3)通過濺射工藝在Al₂O₃陶瓷板上制備金叉指電極基底，將步驟(2)制備的敏感材料旋涂液旋涂在金叉指電極基底上，旋涂速率為1300～1700rad/s，旋涂時間為50～80s，旋涂2～4層；

(4)將步驟(3)得到的器件在80～90℃下烘干有機溶劑，得到的TPA-DCPP有機敏感薄膜的厚度為3～7μm，從而制備得到基于TPA-DCPP有機敏感薄膜的平面式室溫氨氣傳感器。

3.如權利要求2所述的一種基于TPA-DCPP有機敏感薄膜的平面式室溫氨氣傳感器的制備方法，其特征在于：是將叉指電極掩膜圖形光刻轉印到Al₂O₃陶瓷板上，在氬氣氣氛下先濺射一層鎳作為粘合層，厚度為0.5～1.5μm，再濺射一層金作為電極，厚度為80～120nm；最后去除光刻膠制，從而制備得到金叉指電極基底。