[發明專利]堆疊型背照式圖像傳感器及其制造方法在審
| 申請號： | 201910367136.9 | 申請日： | 2019-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN110061024A | 公開（公告）日： | 2019-07-26 |
| 發明（設計）人： | 大石周 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L27/146 | 分類號： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 馬景輝 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 背照式圖像傳感器 堆疊 散熱部 電路產生 電路 散熱件 熱量傳遞 散熱部位 制造 延伸 | ||
1.一種堆疊型背照式圖像傳感器，其特征在于，包括：
第一電路；
第二電路，其中所述第一電路產生的熱量大于所述第二電路產生的熱量；以及，
散熱件，所述散熱件包括第一散熱部和第二散熱部，其中所述第一散熱部位于所述堆疊型背照式圖像傳感器內部并且被構造成對應于所述第一電路以將所述第一電路產生的熱量傳遞給所述第二散熱部，所述第二散熱部被構造成延伸到所述堆疊型背照式圖像傳感器的表面。
2.根據權利要求1所述的堆疊型背照式圖像傳感器，其特征在于，所述散熱件還包括對應于所述第二電路設置的第三散熱部，所述第三散熱部被構造成將所述第二電路產生的熱量傳遞給所述第二散熱部。
3.根據權利要求2所述的堆疊型背照式圖像傳感器，其特征在于，所述第一散熱部和所述第三散熱部彼此熱連接。
4.根據權利要求3所述的堆疊型背照式圖像傳感器，其特征在于，所述第一散熱部和所述第三散熱部通過導熱材料相連。
5.根據權利要求3所述的堆疊型背照式圖像傳感器，其特征在于，所述第一散熱部和所述第三散熱部彼此直接連接。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的堆疊型背照式圖像傳感器，其特征在于，所述散熱件的材料包括金屬。
7.根據權利要求6所述的堆疊型背照式圖像傳感器，其特征在于，所述散熱件與所述第一電路和所述第二電路電絕緣。
8.根據權利要求6所述的堆疊型背照式圖像傳感器，其特征在于，所述金屬選自：金、銀、銅、鋁、鐵或包含其中兩種以上的合金。
9.一種成像裝置，其特征在于，所述成像裝置包括根據權利要求1至8中任一項所述的堆疊型背照式圖像傳感器。
10.一種堆疊型背照式圖像傳感器的制造方法，其特征在于，包括：
提供第一基板，所述第一基板上設置有第一電路和第二電路，其中，所述第一電路產生的熱量大于所述第二電路產生的熱量；
在所述第一基板上形成第一絕緣層；
在所述第一絕緣層中形成第一散熱部，其中，所述第一散熱部被構造成對應于所述第一電路；
形成第二散熱部，所述第二散熱部被構造成接收所述第一散熱部傳遞的熱量并且延伸到所述堆疊型背照式圖像傳感器的表面。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的；包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的；包括有熱磁組件的
