[發明專利]工件加工模具、工件加工方法及埋管結構

有效

• 申請號: 201910363848.3
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN111842849B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 趙仁潔;楊超;張麗;朱文潔
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: B22D19/16
• 分類號: B22D19/16;F16L9/02
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種工件加工方法，其特征在于，包括：

制作上模、下模和定位裝置，所述定位裝置包括上定位結構和下定位結構，所述上定位結構形成于所述上模，所述下定位結構形成于所述下模，且所述上定位結構的形態與管路的上半部分形狀一致，所述下定位結構的形態與所述管路的下半部分形狀一致，所述上模、所述下模和所述管路的材料均為金屬材料，所述上模和所述下模的熔點低于所述管路的熔點；

執行合模工藝，將所述管路埋入所述上模和下模之間，并利用所述上定位結構和所述下定位結構將所述管路進行定位固定；

在執行合模工藝之前或之后，執行加熱工藝，單獨對所述管路進行加熱，且加熱所述管路的目標溫度高于所述上模和所述下模的熔點且低于所述管路的熔點，以使合模后，加熱過的所述管路將其周圍的上模和下模材料熔化，而使得所述上模、所述下模和所述管路相接合，得到一埋管結構。

2.根據權利要求1所述的工件加工方法，其特征在于，所述上定位結構為形成于所述上模的上定位槽，所述下定位結構為形成于所述下模的下定位槽，所述上定位槽與所述下定位槽合圍的形狀與所述管路的形狀一致；

所述執行合模工藝的步驟包括：將所述管路埋入所述上模和下模之間，并利用所述上定位槽和下定位槽同時對所述管路進行定位固定。

3.根據權利要求2所述的工件加工方法，其特征在于，在執行合模工藝時，還包括對上模和下模進行機械固定；或者，當所述上模、下模和管路相接合后，還包括對上模和下模進行機械固定。

4.根據權利要求1所述的工件加工方法，其特征在于，在執行合模工藝之前，執行加熱工藝的步驟包括：對上模和下模進行預熱，預熱的溫度低于上模和下模的熔點。

5.根據權利要求1所述的工件加工方法，其特征在于，在執行合模工藝之后，執行加熱工藝的步驟包括：

首先，單獨加熱管路至目標溫度；

然后，將管路維持在目標溫度下，且經過一段時間后停止加熱。

6.根據權利要求5所述的工件加工方法，其特征在于，所述單獨加熱管路至目標溫度的步驟包括：

先加熱管路，以使管路、上模和下模的溫度均達到第一目標溫度，第一目標溫度低于上模和下模的熔點；

然后提升加熱速率，加熱管路至所述目標溫度。

7.一種埋管結構，其特征在于，采用如權利要求1-6中任一項所述的工件加工方法制備而成。

8.根據權利要求7所述的埋管結構，其特征在于，所述埋管結構包括基體和埋于所述基體內的管路，所述基體包括所述上模和所述下模，所述管路的材料為不銹鋼，所述基體的材料為鋁合金。

9.一種工件加工模具，其特征在于，包括上模、下模、定位裝置和加熱裝置，所述定位裝置包括上定位結構和下定位結構，所述上定位結構設置在所述上模上，所述下定位結構設置在所述下模上，所述上定位結構的形態與管路的上半部分的形狀一致，所述下定位結構的形態與管路的下半部分的形狀一致，且所述管路通過所述上定位結構和所述下定位結構定位固定在所述上模和所述下模之間，所述加熱裝置用于單獨加熱所述管路，以使所述上模、所述下模和所述管路合模后，加熱過的所述管路將其周圍的上模和下模材料熔化，而使得所述上模、下模和所述管路相接合；其中所述上模、所述下模和所述管路的材料均為金屬材料，所述上模和所述下模的熔點低于所述管路的熔點，加熱所述管路的目標溫度高于所述上模和所述下模的熔點且低于所述管路的熔點。

10.根據權利要求9所述的工件加工模具，其特征在于，所述上定位結構為形成于所述上模的上定位槽，所述下定位結構為形成于所述下模的下定位槽，所述上定位槽與所述下定位槽合圍的形狀與所述管路的形狀一致。

11.根據權利要求10所述的工件加工模具，其特征在于，還包括固定裝置，用以機械連接所述上模和所述下模。