[發明專利]一種晶圓缺陷檢測裝置及方法

有效

• 申請號: 201910363691.4
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN111855662B
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發明（設計）人: 王通;王瀟斐
• 申請（專利權）人: 芯恩（青島）集成電路有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95
• 代理公司: 北京漢之知識產權代理事務所(普通合伙) 11479
• 代理人: 陳敏

1.一種晶圓缺陷檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置至少包含：

光源；

晶圓，所述晶圓包括沿第一方向延伸排列的多個第一晶粒，所述晶圓還包括沿第一方向延伸排列的多個第二晶粒，所述多個第二晶粒沿第二方向與所述多個第一晶粒相鄰或間隔排列；其中，所述第一方向與所述第二方向相互垂直；

至少一個分光鏡，所述至少一個分光鏡包括第一分光鏡，所述第一分光鏡將所述光源發射的光線分成第一光束和第二光束；

第一偏光鏡，所述第一偏光鏡用于反射所述第一光束，所述第一光束照射所述晶圓上的所述第一晶粒；

第二偏光鏡，所述第二偏光鏡用于反射所述第二光束，所述第二光束照射所述晶圓上的所述第二晶粒；

圖像傳感裝置，所述圖像傳感裝置用于獲取所述第一晶粒和所述第二晶粒的圖像；以及

傳動裝置，所述傳動裝置使所述第一偏光鏡和所述第二偏光鏡分別與所述第一晶粒和所述第二晶粒同時產生沿所述第一方向的同向相對移動。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述晶圓還包括沿第一方向延伸排列的多個第三晶粒，所述多個第三晶粒沿第二方向與所述多個第一晶粒和所述多個第二晶粒相鄰或間隔排列；所述至少一個分光鏡還包括第二分光鏡，所述第二分光鏡將所述光源發射的光線的一部分反射或者折射成第三光束；所述圖像傳感裝置還用于獲取所述第三晶粒的圖像；

所述檢測裝置還包括：第三偏光鏡，所述第三偏光鏡用于反射所述第三光束，所述第三光束照射所述晶圓上的所述第三晶粒；所述傳動裝置使所述第一偏光鏡、所述第二偏光鏡和所述第三偏光鏡分別與所述第一晶粒、所述第二晶粒和所述第三晶粒同時產生沿所述第一方向的相對移動。

3.一種晶圓缺陷檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置至少包含：

光源；

至少一個晶圓，所述至少一個晶圓至少包括第一晶圓和第二晶圓，所述第一晶圓包括沿第一方向延伸排列的多個第一晶粒，所述第一晶圓還包括沿第一方向延伸排列的多個第二晶粒，所述多個第二晶粒沿第二方向與所述多個第一晶粒相鄰或間隔排列；其中，所述第一方向與所述第二方向相互垂直；

所述第二晶圓包括沿第一方向延伸排列的多個第三晶粒，所述第二晶圓還包括沿第一方向延伸排列的多個第四晶粒，所述多個第四晶粒沿第二方向與所述多個第三晶粒相鄰或間隔排列；

至少一個分光鏡，所述至少一個分光鏡將所述光源發射的光線分成至少第一光束、第二光束、第三光束和第四光束；

至少一個偏光鏡，所述至少一個偏光鏡包括第一偏光鏡、第二偏光鏡、第三偏光鏡和第四偏光鏡，所述第一偏光鏡、第二偏光鏡、第三偏光鏡和第四偏光鏡用于分別反射所述第一光束、第二光束、第三光束和第四光束，所述第一光束、第二光束、第三光束和第四光束分別照射所述第一晶粒、第二晶粒、第三晶粒和第四晶粒；

圖像傳感裝置，所述圖像傳感裝置用于獲取所述第一晶粒、第二晶粒、第三晶粒和第四晶粒的圖像；以及

傳動裝置，所述傳動裝置使所述第一偏光鏡、第二偏光鏡、第三偏光鏡和第四偏光鏡分別與所述第一晶粒、第二晶粒、第三晶粒和第四晶粒同時產生沿所述第一方向的同向相對移動。

4.根據權利要求1-3任一項所述的檢測裝置，其特征在于，所述光源包括同軸光源或者采用暗場照明方式。

5.根據權利要求1-3任一項所述的檢測裝置，其特征在于，所述光源包括氙燈、鹵素燈、LED或者激光光源。

6.根據權利要求1-3任一項所述的檢測裝置，其特征在于，所述圖像傳感裝置包括圖像傳感器，用于捕捉所述晶粒的圖像。

7.根據權利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，所述圖像傳感裝置還包括鏡頭，用于將所述晶粒放大并聚焦到所述圖像傳感器。

8.根據權利要求1-3任一項所述的檢測裝置，其特征在于，所述分光鏡包括平面型分光鏡。

9.根據權利要求1-3任一項所述的檢測裝置，其特征在于，所述分光鏡包括非偏振型分光鏡。