[發(fā)明專利]轉(zhuǎn)子及魯氏幫浦

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910362470.5
• 申請(qǐng)日: 2019-04-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111810403A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林敬淵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 亞臺(tái)富士精機(jī)股份有限公司
• 主分類號(hào): F04C18/12
• 分類號(hào): F04C18/12;F04C29/00;F04C29/12
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

本發(fā)明公開(kāi)了一種轉(zhuǎn)子與魯氏幫浦。轉(zhuǎn)子用于魯氏幫浦。轉(zhuǎn)子包含中心軸、葉輪以及披覆層,葉輪環(huán)繞中心軸,披覆層覆蓋在葉輪上,其中披覆層的材質(zhì)與葉輪的材質(zhì)不同。本發(fā)明還公開(kāi)了一種包含上述轉(zhuǎn)子的魯氏幫浦。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)子及幫浦,且特別是有關(guān)一種用于魯氏幫浦的轉(zhuǎn)子及魯氏幫浦。

背景技術(shù)

隨著科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,真空技術(shù)被廣泛使用,舉例來(lái)說(shuō),半導(dǎo)體工藝中的薄膜沉積、干刻蝕、離子植入或微影工藝,均需在真空環(huán)境下進(jìn)行,連帶帶動(dòng)了真空幫浦(又稱真空泵)的發(fā)展。

在眾多真空幫浦中,由于干式真空幫浦在進(jìn)氣、壓縮、排氣等行程中,轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)所掃過(guò)的行程并不需要油脂來(lái)潤(rùn)滑或密封,可避免油氣回流而可維持較高的潔凈度,故被大量應(yīng)用于科技產(chǎn)業(yè)。

干式真空幫浦依據(jù)其所使用轉(zhuǎn)子型態(tài)的不同,可分為魯氏幫浦、爪式幫浦、螺旋式幫浦等,其中魯氏幫浦因工作特性穩(wěn)定,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造容易、操作方便、維修周期長(zhǎng)而引起廣泛注意,魯氏幫浦的工作原理,乃是通過(guò)兩個(gè)轉(zhuǎn)子以相反方向旋轉(zhuǎn)而壓縮空氣,并將氣體由低壓端帶至高壓端以達(dá)到抽真空的效果。

公知魯氏幫浦的轉(zhuǎn)子,包含中心軸與葉輪,中心軸與葉輪均使用高強(qiáng)度的金屬材質(zhì)制造,借以提供所需的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。然而,使用高強(qiáng)度的金屬材料會(huì)導(dǎo)致整體重量過(guò)重。此外,葉輪的輪廓線(又稱型線)是由一組特定曲線組合而成,在制造葉輪時(shí)通常先預(yù)鑄一個(gè)塊材,再通過(guò)加工除去大部分材料并銑出輪廓線(例如使用球刀銑),其具有浪費(fèi)材料、加工時(shí)間長(zhǎng)以及不利于量產(chǎn)的缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是在提供一種轉(zhuǎn)子及魯氏幫浦,以解決上述問(wèn)題。

依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式是提供一種轉(zhuǎn)子,用于魯氏幫浦,轉(zhuǎn)子包含中心軸、葉輪以及披覆層,葉輪環(huán)繞中心軸,披覆層覆蓋在葉輪上,其中披覆層的材質(zhì)與葉輪的材質(zhì)不同。

依據(jù)前述的轉(zhuǎn)子,其中披覆層與葉輪可以埋入注射成型(insert molding)的方式一體成型。

依據(jù)前述的轉(zhuǎn)子,其中披覆層的密度可小于中心軸的密度,披覆層的材質(zhì)可為塑料。

依據(jù)前述的轉(zhuǎn)子,其中葉輪的密度可小于中心軸的密度。葉輪可以擠壓(extrusion)的方式制成。葉輪的材質(zhì)可為含鋁金屬。葉輪可包含中空部。葉輪可為兩葉型、三葉型或五葉型。

依據(jù)前述的轉(zhuǎn)子,其中中心軸的材質(zhì)可為中碳鋼或合金鋼。

依據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式是提供一種魯氏幫浦,包含幫浦本體以及前述的轉(zhuǎn)子,幫浦本體其內(nèi)形成有幫浦腔室、入口及出口,入口與出口均連通于幫浦腔室,轉(zhuǎn)子設(shè)置在幫浦腔室內(nèi),且轉(zhuǎn)子用以將氣體由入口排放至出口。

本發(fā)明的轉(zhuǎn)子,通過(guò)披覆層的材質(zhì)與葉輪的材質(zhì)不同,有利于使用其他方式制造葉輪,進(jìn)而有利于降低材料成本、縮短加工時(shí)間并有利于量產(chǎn)。為使本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂,下文特舉實(shí)施例,并配合所附圖示做詳細(xì)說(shuō)明如下。

附圖說(shuō)明

圖1是依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的轉(zhuǎn)子的立體示意圖。

圖2是依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的魯氏幫浦的剖視示意圖。

圖3是圖2中魯氏幫浦的另一剖視示意圖。

圖4是依據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施方式的魯氏幫浦的剖視示意圖。

其中,附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:

110、210、310:轉(zhuǎn)子

111、211、311:中心軸

112、212、312:葉輪

113、213、313:披覆層

114、214、314:中空部