[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體激光器COS固晶快速壓膜拆膜裝置及壓膜拆膜方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910361283.5
• 申請(qǐng)日: 2019-04-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111864529B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張廣明;王婷婷;趙克寧;秦莉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 濰坊華光光電子有限公司
• 主分類號(hào): H01S5/02
• 分類號(hào): H01S5/02;H01S5/02355
• 代理公司: 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37219
• 代理人: 王楠

一種半導(dǎo)體激光器COS固晶快速壓膜拆膜裝置及壓膜拆膜方法，屬于半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)領(lǐng)域，裝置包括底座、圓座、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、圓盤(pán)、壓膜拆膜機(jī)構(gòu)；底座上側(cè)設(shè)置有圓座，圓座上側(cè)設(shè)置有圓盤(pán)，圓盤(pán)上設(shè)置有壓膜拆膜機(jī)構(gòu)，底座上設(shè)定設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，圓盤(pán)與底座之間還設(shè)置有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；底座下側(cè)設(shè)置有地腳；底座固定設(shè)置在圓盤(pán)上，底座上向上依次設(shè)置有內(nèi)圓環(huán)、外圓環(huán)、壓環(huán)；壓環(huán)與升降機(jī)構(gòu)連接；圓盤(pán)與底座之間設(shè)置有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。采用機(jī)械壓膜的方式代替手動(dòng)壓膜，可進(jìn)行多個(gè)的壓膜和拆膜，同時(shí)機(jī)械壓膜，可保證壓力的均勻性，從而使壓出的白膜平整，使得COS固晶后的排列效果更好，可在一套設(shè)備上實(shí)現(xiàn)壓膜和拆膜，既提升了效率又節(jié)約了成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體激光器COS固晶的快速壓膜拆膜裝置及壓膜拆膜方法，屬于半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

由于半導(dǎo)體激光器具有體積小、重量輕、電光轉(zhuǎn)換效率高、壽命長(zhǎng)和可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，已在通訊、醫(yī)療、顯示、工業(yè)制作和安防等領(lǐng)域逐漸取代了氣體和固體激光器的使用，其應(yīng)用范圍也在逐步擴(kuò)展。半導(dǎo)體激光器工作原理是：通過(guò)一定的激勵(lì)方式，在半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶(導(dǎo)帶與價(jià)帶)之間，或者半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶與雜質(zhì)(受主或施主)能級(jí)之間，實(shí)現(xiàn)非平衡載流子的粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，當(dāng)處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)的大量電子與空穴復(fù)合時(shí)便產(chǎn)生受激發(fā)射作用。通常情況下激光器工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生熱，導(dǎo)致激光器的工作介質(zhì)升溫，從而影響激光器的波長(zhǎng)、輸出功率、模式穩(wěn)定性等特性。因此需要及時(shí)有效的將熱量排出，否則會(huì)造成激光器芯片溫度過(guò)高，降低器件發(fā)光效率并誘發(fā)激光器的失效。目前廣泛應(yīng)用的技術(shù)方案是將半導(dǎo)體激光器芯片固晶到散熱能力強(qiáng)的熱沉塊上，芯片與熱固晶結(jié)在一起的過(guò)程也被稱作為COS固晶。

通過(guò)自動(dòng)固晶機(jī)完成固晶后的COS，需要均勻排列在具有一定粘性的白膜上，以便于COS的儲(chǔ)存，由于白膜的厚度只有0.2mm左右非常薄，同時(shí)白膜如果擴(kuò)張不均勻，會(huì)造成COS難以整齊排列，因此COS固晶時(shí)白膜無(wú)法直接固定在設(shè)備上，常采用的技術(shù)手段是，將白膜通過(guò)一大一小的兩個(gè)圓環(huán)壓制在一起，使白膜擴(kuò)緊后將圓環(huán)固定到設(shè)備上，白膜壓制到圓環(huán)的過(guò)程俗稱壓膜，COS在白膜全部排滿后，需要將白膜從圓環(huán)上取出拆膜，以便對(duì)COS進(jìn)行儲(chǔ)存或下傳到下一工序。目前所采用的壓膜拆膜方法時(shí)，手動(dòng)將白膜放置到兩個(gè)圓環(huán)之間，用一個(gè)金屬圓餅將兩個(gè)圓環(huán)壓制在一起，從而使白膜擴(kuò)緊。COS在白膜上排滿后拆膜時(shí)，再用圓餅的另一面將兩個(gè)圓環(huán)分離，將白膜取出。采用該方法進(jìn)行壓膜拆膜操作簡(jiǎn)單，但是效率比較低，只能單個(gè)進(jìn)行壓膜和拆膜，同時(shí)手動(dòng)壓膜，難以保證壓力的均勻性，從而使壓出的白膜不夠平整，從而影響COS固晶后的排列效果。COS排滿后將白膜拆膜時(shí)，手動(dòng)操作容易造成COS的污染，因此需要一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、方便操作和檢查、生產(chǎn)效率高的半導(dǎo)體激光器COS固晶壓膜拆膜裝置，以解決目前COS固晶壓膜拆膜工作所存在的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對(duì)上述不足，提供了一種半導(dǎo)體激光器COS固晶快速壓膜拆膜裝置，解決了手動(dòng)操作效率低、壓力不均勻，也容易造成COS的污染等問(wèn)題。

本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體激光器COS固晶快速壓膜拆膜的方法。

本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：

一種半導(dǎo)體激光器COS固晶快速壓膜拆膜裝置，包括底座、圓座、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、圓盤(pán)、壓膜拆膜機(jī)構(gòu)；所述底座上側(cè)設(shè)置有圓座，圓座上側(cè)設(shè)置有圓盤(pán)，圓盤(pán)上設(shè)置有壓膜拆膜機(jī)構(gòu)，底座上固定設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，所述圓盤(pán)與底座之間還設(shè)置有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于控制圓盤(pán)的水平轉(zhuǎn)動(dòng)；優(yōu)選的，所述底座下側(cè)設(shè)置有地腳；

所述壓膜拆膜結(jié)構(gòu)包括壓座、內(nèi)圓環(huán)、外圓環(huán)、壓環(huán)；壓座固定設(shè)置在圓盤(pán)上，壓座上向上依次設(shè)置有內(nèi)圓環(huán)、外圓環(huán)、壓環(huán)；壓環(huán)與升降機(jī)構(gòu)連接，升降機(jī)構(gòu)用于控制壓環(huán)的升降移動(dòng)。

通過(guò)壓座、內(nèi)圓環(huán)、外圓環(huán)、壓環(huán)的配合進(jìn)行壓膜，圓盤(pán)上可設(shè)置多個(gè)壓膜拆膜結(jié)構(gòu)，通過(guò)圓盤(pán)帶動(dòng)壓座旋轉(zhuǎn)，可同時(shí)進(jìn)行多個(gè)壓膜，效率高。