[發明專利]半導體硅晶圓片切割漿料的在線回收裝置及其回收工藝

在審

• 申請號: 201910360218.0
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN111844493A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 楊東祥;凌海;徐健;陳磊
• 申請（專利權）人: 江陰東為資源再生技術有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/04;B01D36/00
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王新愛

1.一種半導體硅晶圓片切割漿料在線回收裝置，其特征在于：所述裝置包含有廢漿料調配模組(1)、固液分離模組(2)和成品漿料儲存罐(3)，所述固液分離模組(2)包含有前加熱器(2.1)、離心機(2.2)、落料罐(2.3)和調和罐(2.4)；廢漿料調配模組(1)的廢漿料調和罐(1.1)經泵將廢漿料泵入前加熱器(2.1)的進料端，所述前加熱器(2.1)的出料端連通至離心機(2.2)的進料端，所述離心機(2.2)的固態物質出料口連通至落料罐(2.3)，落料罐(2.3)經泵連通至調和罐(2.4)，所述調和罐(2.4)經泵連通至成品漿料儲存罐(3)。

2.一種半導體硅晶圓片切割漿料在線回收裝置，其特征在于：所述裝置包含有廢漿料調配模組(1)、固液分離模組(2)和成品漿料儲存罐(3)，所述固液分離模組(2)設置有兩組，每組固液分離模組(2)均包含有前加熱器(2.1)、離心機(2.2)、落料罐(2.3)和調和罐(2.4)；兩組固液分離模組(2)的前加熱器(2.1)的進料端經三通閥與廢砂漿調配模組(1)的廢砂漿調和罐(1.1)相連通；所述前加熱器(2.1)的出料端連通至離心機(2.2)的進料端，所述離心機(2.2)的固態物質出料口連通至落料罐(2.3)，落料罐(2.3)經泵連通至調和罐(2.4)，兩組固液分離模組(2)的調和罐(2.4)經三通閥與成品砂漿儲存罐(3)相連通，且一固液分離模組(2)的調和罐(2.4)經三通閥與另一固液分離模組(2)的前加熱器(2.1)相連通。

3.如權利要求1或2所述一種半導體硅晶圓片切割漿料在線回收裝置，其特征在于：所述離心機(2.2)的液態物質經濾液過濾模組(6)進行過濾回收；上述離心機(2.2)的液態物質出料口連通至臟液箱(6.1)，所述臟液箱(6.1)經管路與閉環三通閥(6.9)的一進液口相連通，該閉環三通閥(6.9)的另一進液口與壓濾液箱(6.4)相連通，該閉環三通閥(6.9)的出液口經泵連通至加熱器(6.2)的進液口，所述加熱器(6.2)的出液口連通至壓濾機(6.3)的進液口，該壓濾機(6.3)的出液口經管路連通至分液三通閥(6.8)的進液口，且壓濾機(6.3)和分液三通閥(6.8)的進液口之間的管路上串接有在線濁度儀(6.7)，該分液三通閥(6.8)的一個出液口連通至臟液箱(6.1)，另一出液口連通至壓濾液箱(6.4)，所述壓濾液箱(6.4)的底部經管路與循環三通閥(6.10)的一進液口相連通，該循環三通閥(6.10)的另一進液口與冷卻精濾液箱(6.6)相連通，該循環三通閥(6.10)的出液口經過濾器泵入換熱器(6.5)的介質一進液口，該換熱器(6.5)的介質一出液口連通至冷卻精濾液箱(6.6)。

4.如權利要求1或2所述一種半導體硅晶圓片切割漿料在線回收裝置，其特征在于：所述廢漿料調配模組(1)包含有廢漿料調和罐(1.1)和廢漿料精濾器(1.2)，廢漿料精濾器(1.2)的進料端經泵連通至廢漿料源，廢漿料精濾器(1.2)的出料端連通至廢漿料調和罐(1.1)。

5.如權利要求4所述一種半導體硅晶圓片切割漿料在線回收裝置，其特征在于：所述廢漿料調和罐(1.1)、落料罐(2.3)、調和罐(2.4)、成品漿料儲存罐(3)和新漿料儲存罐(4)的頂部壓蓋上均安裝攪拌電機，且攪拌電機的輸出軸豎向向下穿過壓蓋后插置于罐體內的一端上套裝有攪拌槳葉。

6.如權利要求4所述一種半導體硅晶圓片切割漿料在線回收裝置，其特征在于：所述廢漿料調和罐(1.1)、落料罐(2.3)、調和罐(2.4)、成品漿料儲存罐(3)和新漿料儲存罐(4)均與軸流風機相連通。

7.如權利要求1或2所述一種半導體硅晶圓片切割漿料在線回收裝置，其特征在于：所述調和罐(2.4)上安裝有一循環調和泵(2.4.1)，該循環調和泵(2.4.1)的進料端和出料端分別連接有進料管和出料管，且進料管穿過調和罐(2.4)的頂部壓蓋后插置于罐體底部，出料管穿接在調和罐(2.4)的頂部壓蓋上；上述進料管或出料管上穿接有質量流量計。