[發明專利]一種復合型壓力傳感器

在審

• 申請號: 201910355010.X
• 申請日: 2019-04-29
• 公開（公告）號: CN110285916A
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 王剛;段九勛;柳歡
• 申請（專利權）人: 麥克傳感器股份有限公司西安分公司
• 主分類號: G01L13/02
• 分類號: G01L13/02;G01L19/00;G01L19/04;G01L19/06
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

本發明公開了一種復合型壓力傳感器，包括基座、差壓芯片和靜壓芯片；所述基座的一端為差壓端，另一端為靜壓端，基座上設置有第一油路和第二油路，第一油路與差壓端連通，第二油路將差壓端和靜壓端連通；所述差壓芯片設置在差壓端的壓腔中，并封閉第二油路與差壓端的連通孔；靜壓芯片設置在靜壓端的壓腔中；所述差壓端和靜壓端的壓腔頂部均固定設置有波紋膜片。該復合型壓力傳感器將分立的三個測量系統融為一體，整合在一個測量元件中，有效的降低了客戶運營成本，并且小體積的結構，更加方便安裝使用。

技術領域

本發明涉及儀器儀表行業技術領域，具體為一種復合型壓力傳感器。

背景技術

差壓變送器運用領域十分廣泛，幾乎觸及到了各個行業，極大的帶動差壓傳感器的發展。

目前市場對小型差壓傳感器的需求越來越大，但市場目前的主要產品只能進行單一差壓測量，雖然可對產品施加靜壓，但對靜壓大小卻不能檢測，并且對使用環境溫度的檢測，也只能通過獨立的溫度檢測系統來完成，在一些工業檢測領域，具有一定的使用局限性，并且在一定程度上增加了檢測系統運營成本。

因此，有必要設計一種復合型壓力傳感器，解決現有的技術問題。

發明內容

針對現有技術中存在的問題，本發明提供一種復合型壓力傳感器，突破差壓傳感器的使用局限性，能夠完成差壓、靜壓和溫度的測量，擴大適用范圍。

本發明是通過以下技術方案來實現：

一種復合型壓力傳感器，包括基座、差壓芯片和靜壓芯片；

所述基座的一端為差壓端，另一端為靜壓端，基座上設置有第一油路和第二油路，第一油路與差壓端連通，第二油路將差壓端和靜壓端連通；

所述差壓芯片設置在差壓端的壓腔中，并封閉第二油路與差壓端的連通孔；靜壓芯片設置在靜壓端的壓腔中；

所述差壓端和靜壓端的壓腔頂部均固定設置有波紋膜片。

優選的，所述差壓端或靜壓端的壓腔中還設置有溫度電阻。

優選的，所述溫度電阻為鉑熱電阻PT1000。

優選的，所述波紋膜片的頂部設置壓圈，壓圈、波紋膜片和基座相互焊接。

優選的，所述差壓端和靜壓端通過油路板連接，所述第一油路和第二油路均設置在油路板上，第一油路和第二油路的進油口均設置在油路板的側壁上，第一油路的出油口與差壓端的壓腔連通，第二油路的兩個出油口分別與差壓端和靜壓端的壓腔連通。

優選的，所述第一油路和第二油路的進油口均通過銷釘進行封堵。

優選的，所述差壓端和靜壓端的壓腔中均設置有多個電氣定義引腳，電氣定義引腳的一端與差壓芯片或靜壓芯片連接，電氣定義引腳的另一端穿過壓腔的底部與對應的檢測設備連接。

優選的，所述電氣定義引腳通過金線與差壓芯片或靜壓芯片連接。

優選的，所述靜壓端的壓腔中設置有凹槽，靜壓芯片設置在凹槽中。

優選的，所述差壓端和靜壓端的壓腔中均灌注有硅油。

與現有技術相比，本發明具有以下有益的技術效果：

本發明提供的一種復合型壓力傳感器，將差壓端的壓腔和靜壓端的壓腔的充油路徑相互分離，差壓端采用獨立的第一油路；靜壓端到差壓端采用第二油路聯通，差壓芯片密封了第二油路的第一出口，而第二油路的第二出口和靜壓端連通，因此達到差壓和靜壓二者兼容的效果，而且保證了差壓油路的獨立性，避免受到靜壓測量的影響。同時差壓端和靜壓端都采用不銹鋼波紋膜片隔離，可以測量多種無腐蝕性的介質并提高傳感器的使用壽命。