[發明專利]傳感器陣列系統及制造方法在審
| 申請號： | 201910353032.2 | 申請日： | 2019-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN109987571A | 公開（公告）日： | 2019-07-09 |
| 發明（設計）人： | 周書瑤;吳麗瓊;劉湘祁;張楠;劉兆平 | 申請（專利權）人： | 寧波石墨烯創新中心有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 楊奇松 |
| 地址： | 315000 浙江省寧*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 傳感器 集成電路 傳感器陣列系統 基底 連接部件 電連接 制作 影響傳感器 功能實現 隔開 可拆 封裝 制造 通電 申請 | ||
1.一種傳感器陣列系統，其特征在于，所述傳感器陣列系統包括：傳感器、集成電路以及基底；
所述基底設置于所述傳感器與所述集成電路之間，用于隔開所述傳感器的電極與所述集成電路，所述傳感器的通電端通過連接部件與所述集成電路鍵合連接。
2.根據權利要求1所述的傳感器陣列系統，其特征在于，所述基底開設有通孔，所述連接部件為所述通孔中填充的導電材料。
3.根據權利要求1所述的傳感器陣列系統，其特征在于：所述傳感器為壓力傳感器，所述傳感器設置于所述基底的遠離所述集成電路的表面。
4.根據權利要求3所述的傳感器陣列系統，其特征在于：還包括彈性薄膜層，所述彈性薄膜層設置于所述基底的遠離所述集成電路的一側，且所述彈性薄膜層覆蓋所述傳感器。
5.根據權利要求3所述的傳感器陣列系統，其特征在于：所述傳感器的電極材料包括碳材料或金屬材料，所述碳材料為石墨烯、功能化石墨烯、碳納米管、碳纖維、富勒烯、活性炭中的任一種；所述金屬材料為金、銀、銅、鎳、鋁中的任一種。
6.根據權利要求3所述的傳感器陣列系統，其特征在于：所述傳感器中的電極以叉指結構的形式設置于所述基底的遠離所述集成電路的表面。
7.根據權利要求1所述的傳感器陣列系統，其特征在于：所述基底為由預設聚合物材料與固化劑混合形成的彈性薄膜。
8.根據權利要求7所述的傳感器陣列系統，其特征在于：所述預設聚合物包括聚二甲基硅氧烷、聚氨酯或硅膠。
9.一種傳感器陣列系統制造方法，用于制造權利要求1至8任一項所述的傳感器陣列系統，其特征在于，所述方法包括：
將預設聚合物與固化劑混合，形成基底；
在所述基底的第一表面設置傳感器；
在所述基底的第二表面設置集成電路；
設置連接部件，所述連接部件用于連接設置于所述第一表面的傳感器，以及設置于所述第二表面的集成電路。
10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述連接部件為導電材料，所述設置連接部件，包括：
在所述基底開設通孔，并在所述通孔中填充導電材料，其中，所述導電材料的第一端與所述傳感器的通電端接觸，所述導電材料的第二端與所述集成電路的預先設置的電路接觸。
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