[發明專利]一種三氯氫硅生產中硅粉殘渣的處理系統和處理方法

在審

• 申請號: 201910352927.4
• 申請日: 2019-04-29
• 公開（公告）號: CN110314515A
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 陳文吉;李濤
• 申請（專利權）人: 新疆大全新能源股份有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/68;B01D47/12;C02F103/18
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;張小勇

本發明為一種三氯氫硅生產中硅粉殘渣的處理系統和處理方法。一種三氯氫硅生產中硅粉殘渣的處理系統，包括：收集罐、噴淋塔、液封罐、壓濾機給料泵、廢液回流泵、廢液緩沖罐、水流噴射泵、阻火器、板框式壓濾機；所述的收集罐上方設置有所述的噴淋塔；所述的噴淋塔與所述的液封罐連通；所述的廢液緩沖罐底部通過所述的廢液回流泵與所述的水流噴射泵連通；所述的液封罐與所述的水流噴射泵連通；所述的水流噴射泵與所述的廢液緩沖罐連通；所述的收集罐通過所述的壓濾機給料泵與所述的板框式壓濾機連通。本發明所述的一種三氯氫硅生產中硅粉殘渣的處理系統和處理方法，解決排放過程中環境污染問題和勞動強度大的問題。

技術領域

本發明具體涉及一種三氯氫硅生產中硅粉殘渣的處理系統和處理方法。

背景技術

無論是傳統的三氯氫硅生產裝置，還是新興的冷氫化三氯氫硅生產裝置，硅粉都是不可缺少的原料之一。在反應器內，硅粉借助原料氣的動力達到沸騰狀態，以達到充分反應的目的。隨著反應的進行，硅粉粒度不斷減小，以致形成超細硅粉，在未反應完全時，就被合成氣帶出了合成爐。因此合成氣中的硅粉殘渣必須經過除塵凈化。合成氣的除塵方法有干法除塵和濕法除塵。

干法除塵原理是利用硅粉殘渣的重力沉降特性經過一系列沉降器、旋風分離器、過濾器、冷凝器后達到除塵目的。濕法除塵是利用氯硅烷的互溶性，用低溫四氯化硅對合成氣進行急冷洗滌，將合成氣中的硅粉殘渣及高沸物雜質洗滌下來。無論是干法除塵還是濕法除塵，硅粉殘渣內都含有少量的氯硅烷、高沸物雜質，必須經過處理后才能直接外排。

傳統的排放方式有：

在干法除塵中，一種處理方法是將截流下來的硅粉雜質直接排出系統，然后人工袋裝外運處理。由于是含有少量氯硅烷的超細硅粉殘渣，所以操作強度大，大量的粉塵容易散發至空氣中，污染環境，且包裝好的硅粉殘渣容易潮解、燃燒，造成火災事故。另一種方法是通過管道，用氣體輸送的方式將硅粉殘渣排出系統后去露天水封池，該法簡單易于操作，但由于置換不可能完全，硅粉殘渣內含有少量的氯硅烷和高沸物雜質，氯硅烷和高沸物雜質遇水反應生成大量的氯化氫氣體和氫氣，散發到空氣中，腐蝕和污染周邊環境，并且后期打撈含水硅渣勞動強度大。

濕法除塵截流下來的硅粉殘渣排放方式與干法除塵中第二種硅粉殘渣排放方式相類似。

有鑒于此，本發明提出一種新的三氯氫硅生產中硅粉殘渣的處理方法，可徹底解決硅粉殘渣排放造成的環境污染問題，及勞動強度大的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種三氯氫硅生產中硅粉殘渣的處理系統，主要針對以上排放方式的缺點和硅粉殘渣自生的特性，著重解決硅粉殘渣排放過程中環境污染問題和勞動強度大的問題；且該處理系統的利用率高。

為了實現上述目的，所采用的技術方案為：

一種三氯氫硅生產中硅粉殘渣的處理系統，所述的處理系統包括：收集罐、噴淋塔、液封罐、壓濾機給料泵、廢液回流泵、廢液緩沖罐、水流噴射泵、阻火器、板框式壓濾機；

所述的收集罐設置有硅粉殘渣、雜質氯硅烷和絮凝劑的進口，所述的收集罐上方設置有所述的噴淋塔，用于將所述的收集罐中生成的酸性氣體，輸送到所述的噴淋塔進行洗滌；

所述的噴淋塔與所述的液封罐連通，所述的噴淋塔中洗滌后的氣體輸送到所述的液封罐中進行進一步的洗滌；所述的液封罐頂部設置有新鮮水的進口；

所述的廢液緩沖罐設置有新鮮水、堿性液體的進口，所述的廢液緩沖罐底部通過所述的廢液回流泵與所述的水流噴射泵連通，將所述的廢液緩沖罐中的液體，通過所述的廢液回流泵輸送至所述的水流噴射泵，形成負壓；

所述的液封罐與所述的水流噴射泵連通，所述的水流噴射泵中形成的負壓，使所述的液封罐中洗滌后的氣體輸送至所述的水流噴射泵中，與所述的水流噴射泵中的堿性液體進行進一步的洗滌凈化；