[發明專利]一種多弧離子鍍陰極裝置

在審

• 申請號: 201910349838.4
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN110042349A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 崔岸;黃顯晴;劉天賜;楊偉麗;徐曉倩;孫文龍;郝裕興
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/54
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 李冉

1.一種多弧離子鍍陰極裝置，包括用于安裝多弧離子鍍陰極裝置的真空腔體裝置和多弧陰極電源，其特征在于，還包括：引弧裝置、絕緣密封電極、輔助陽極板、凹型矩形靶、多弧陰極體、電磁鐵、可變電阻器、絕緣支撐柱、多弧陰極底座和控制系統；所述多弧陰極體通過所述多弧陰極底座安裝于所述真空腔體裝置內；所述多弧陰極體與所述輔助陽極板通過所述絕緣支撐柱固定連接；所述輔助陽極板與所述可變電阻器一端連接，所述可變電阻器另一端與所述真空腔體裝置連接；所述真空腔體裝置與所述多弧陰極電源的正極連接；所述多弧陰極底座與所述多弧陰極電源的負極連接；所述凹型矩形靶固定在所述多弧陰極體上；所述電磁鐵設置有多個，且均勻排布于所述多弧陰極體底座上；所述多弧陰極底座的兩端安裝所述絕緣密封電極，所述多弧陰極底座一端安裝引弧裝置；所述絕緣密封電極分別與多個所述電磁鐵連接；所述控制系統調節多個所述電磁鐵線圈的電流幅值。

2.根據權利要求1所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，還包括聚四氟絕緣座；所述聚四氟絕緣座上設置有若干個孔，所述多弧陰極底座上對應設置有若干個孔，所述聚四氟絕緣座與所述多弧陰極底座對應放置安裝多弧陰極底座絕緣套，并通過螺栓將多弧陰極底座安裝在真空腔體裝置內。

3.根據權利要求2所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，所述引弧裝置包括：引弧針、引弧桿、汽缸絕緣密封座、汽缸絕緣件、汽缸架和汽缸；所述汽缸通過汽缸架安裝在多弧陰極底座的一端；所述汽缸絕緣密封座通過螺釘安裝在所述汽缸與所述多弧陰極底座中間；所述汽缸架與所述多弧陰極底座之間裝有汽缸絕緣墊件；所述引弧桿穿過所述汽缸絕緣密封座、多弧陰極底座和聚四氟絕緣座，引弧桿上設置有引弧針。

4.根據權利要求1所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，所述絕緣密封電極包括電極絕緣套、電極螺母和電極螺栓；所述電極螺栓貫穿所述多弧陰極底座，所述多弧陰極底座兩側設置有所述電極絕緣套，并用所述電極螺母進行固定。

5.根據權利要求1所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，所述輔助陽極板是通過螺釘固定在所述絕緣支撐柱的一端，所述絕緣支撐柱的另一端設置有螺紋，并與所述多弧陰極底座螺接。

6.根據權利要求2所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，所述多弧陰極底座上開設有若干個底座螺紋孔，并將所述多弧陰極體安裝于所述多弧陰極底座上表面。

7.根據權利要求1所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，所述凹型矩形靶上有若干個靶材安裝孔；所述多弧陰極體上開設有多弧陰極體螺紋孔；螺釘穿過所述靶材安裝孔與多弧陰極體螺紋孔進行螺接，固定所述凹型矩形靶。

8.根據權利要求1所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，所述多弧陰極底座上設置有進水孔和出水孔；所述多弧陰極體內充滿冷卻液；所述進水孔和所述出水孔均與所述多弧陰極體連通。

9.根據權利要求1所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，所述控制系統包括真空膜厚檢測器、D/A轉換器、A/D轉換器、功率調節器和PC機；所述真空膜厚檢測器通過所述A/D轉換器與所述PC機電性連接；所述PC機通過所述D/A轉換器和所述功率調節器與所述電磁鐵連接。

10.根據權利要求1-9任一項所述的一種多弧離子鍍陰極裝置，其特征在于，所述凹型矩形靶和所述多弧陰極體之間、所述多弧陰極體和所述多弧陰極底座之間開設有密封槽；所述密封槽內放置密封圈。