[發(fā)明專利]一種高效剝離的太陽(yáng)能電池犧牲層及其剝離方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910348480.3
• 申請(qǐng)日: 2019-04-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111863987A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/0352
• 分類號(hào): H01L31/0352;H01L31/18
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王文君;陳征

1.一種高效剝離的太陽(yáng)能電池犧牲層，所述犧牲層貼附于太陽(yáng)能電池外延結(jié)構(gòu)的下表面且位于襯底的上方，其特征在于，所述犧牲層由超晶格結(jié)構(gòu)構(gòu)成，所述超晶格結(jié)構(gòu)由至少一層量子點(diǎn)層制備而成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的犧牲層，其特征在于，所述超晶格結(jié)構(gòu)由多個(gè)量子點(diǎn)層層疊制備而成時(shí)，同一層中量子點(diǎn)的尺寸大小相差不超過(guò)10％，從所述太陽(yáng)能電池外延結(jié)構(gòu)的下表面向下，不同的量子點(diǎn)層中量子點(diǎn)的尺寸逐漸增大。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的犧牲層，其特征在于，所述超晶格結(jié)構(gòu)由三層尺寸不同的AlAs量子點(diǎn)層制備而成時(shí)，離所述太陽(yáng)能電池外延結(jié)構(gòu)最近的量子點(diǎn)層中量子點(diǎn)的直徑為1～10nm，中間量子點(diǎn)層中量子點(diǎn)直徑范圍為15～20nm，離所述太陽(yáng)能電池外延結(jié)構(gòu)最遠(yuǎn)的量子點(diǎn)層中量子點(diǎn)的直徑為25～30nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的犧牲層，其特征在于，所述三層尺寸不同的AlAs量子點(diǎn)層的制備方法為，先生長(zhǎng)離所述太陽(yáng)能電池外延結(jié)構(gòu)最遠(yuǎn)的量子點(diǎn)層，生長(zhǎng)條件為，溫度800～810℃，生長(zhǎng)時(shí)間為20～25s，總流量為8000～8100sccm；然后生長(zhǎng)中間層量子點(diǎn)層，生長(zhǎng)條件為溫度780～790℃，生長(zhǎng)時(shí)間為15～20s，總流量為7500～7600sccm；最后生長(zhǎng)離所述太陽(yáng)能電池最近的量子點(diǎn)犧牲層，生長(zhǎng)條件為，溫度760～770℃，生長(zhǎng)時(shí)間為10～15s，總流量為7000～7100sccm。

5.一種高效剝離太陽(yáng)能電池犧牲層的方法，將從下至上依次包括襯底、權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的犧牲層和太陽(yáng)能電池外延結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)能電池中間體置于電場(chǎng)環(huán)境中，其特征在于，向所述電場(chǎng)環(huán)境中先注入對(duì)所述犧牲層具有氧化作用的氣體，再注入對(duì)所述犧牲層有刻蝕作用的氣體，對(duì)所述犧牲層進(jìn)行剝離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述具有氧化作用的氣體為氧氣，和/或，所述具有刻蝕作用的氣體為SF₆、CF₄、CHF₃、C₄F₈、HF、BF₃、PF₃、Cl₂、HCl、SiH₂Cl₂、SiCl₄、BCl₃或HBr中的一種或幾種。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述具有氧化作用和對(duì)所述犧牲層有刻蝕作用的氣體的摩爾比為1:45～55。

8.根據(jù)權(quán)利要求5～7任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述犧牲層剝離的具體操作為：設(shè)置等離子體注入腔室的壓強(qiáng)10^-5Pa～10Pa，注入腔室的工作壓強(qiáng)范圍為10^-3Pa～1000Pa，所述刻蝕氣體與所述氧化氣體的比為1：45～55，先通入具有氧化作用的氣體，再通往具有刻蝕作用的氣體，氣體的流量為1～1000sccm，等離子體電源輸出的功率為300～5000W。

9.根據(jù)權(quán)利要求5～8任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在所述犧牲層與所述襯底之間設(shè)有緩沖層。