[發明專利]塵埃等離子體生成系統

有效

• 申請號: 201910348396.1
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN109951942B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 李海龍;龍俊凱;王茂琰;王彬;殷勇;蒙林;袁學松
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: H05H1/26
• 分類號: H05H1/26;H05H1/00
• 代理公司: 成都正華專利代理事務所(普通合伙) 51229
• 代理人: 何凡

1.塵埃等離子體生成系統，其特征在于，包括塵埃等離子體射流裝置；所述塵埃等離子體射流裝置分別與用于將其內部氣體噴射至塵埃等離子體射流裝置的氣體裝置(5)、用于電離進入塵埃等離子體射流裝置內的氣體的電離裝置、用于將其內部塵埃噴出與流經塵埃等離子體射流裝置的電離后的氣體混合而形成塵埃等離子體的塵埃裝置及用于對所述塵埃等離子體進行電子密度檢測的密度檢測裝置(2)連接；所述氣體裝置(5)、電離裝置、塵埃裝置和密度檢測裝置(2)分別與控制裝置(3)連接；

所述控制裝置(3)包括輸入單元(301)和與所述輸入單元(301)連接的工控機(302)；

所述塵埃等離子體射流裝置包括多根平行分布，且末端位于同一平面的石英管(101)；

所述塵埃裝置包括塵埃存儲罐(601)和均與所述塵埃存儲罐(601)連接的多個噴射器(602)；每根石英管(101)的末端外壁上均環繞設置有多個所述噴射器(602)，所有噴射器(602)的軸均與石英管(101)的軸平行，所有噴射器(602)均與工控機(302)連接。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述氣體裝置(5)包括氣罐(502)、與氣罐(502)連接的氣體泵(501)和均與氣體泵(501)連接的多根氣體導管(504)，每根氣體導管(504)的另一端均與一根石英管(101)的首端連接，每根氣體導管(504)上均設置有與所述工控機(302)連接的閥門(503)，所述氣體泵(501)與工控機(302)連接。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述電離裝置包括通過光纖與所述工控機(302)連接的電壓調節單元(401)，所述電壓調節單元(401)分別與多個電極(403)連接，所有電極(403)分別位于一根所述石英管(101)的外壁上。

4.根據權利要求1-3任一所述的系統，其特征在于，所述密度檢測裝置(2)包括通過光纖分別與所述工控機(302)連接的光電轉換單元(201)和探針驅動單元(202)；所述探針驅動單元(202)上設置有與所述光電轉換單元(201)連接的探針(203)。

5.根據權利要求4所述的系統，其特征在于，所述探針驅動單元(202)為機械臂。