[發明專利]一種低成本的微波等離子體光源諧振器

在審

• 申請號: 201910347683.0
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN110148551A
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 賈華;單家芳;劉甫坤;宦維定
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: H01J65/04
• 分類號: H01J65/04
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 張果果

1.一種低成本的微波等離子體光源諧振器，其特征在于：包括有輸入同軸線、耦合探針、空氣耦合腔和陶瓷諧振器，所述的耦合探針與輸入同軸線的內導體連接并插入所述的空氣耦合腔內，所述的陶瓷諧振器為長條形長方體瓷塊，陶瓷諧振器的頂面、底面、前側面和后側面均采用金屬化處理并接地，在陶瓷諧振器的右側面上設置有上、下側金屬帶，上側金屬帶的上端與陶瓷諧振器頂面的金屬面連接并接地，下側金屬帶的下端與陶瓷諧振器底面的金屬面連接并接地，在陶瓷諧振器的左側面開有半圓柱形溝槽，在溝槽內設有上下兩段不連接的金屬化處理部分，在上側金屬帶和上側金屬化處理部分之間以及下側金屬帶與下側金屬化處理部分之間分別開有深過孔，在兩個深過孔的內壁均作導電金屬化處理，所述的陶瓷諧振器的右側面與空氣耦合腔的左側面接觸并固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種低成本的微波等離子體光源諧振器，其特征在于：所述的上、下側金屬帶的寬度均小于陶瓷諧振器右側面寬度的60%。

3.根據權利要求1所述的一種低成本的微波等離子體光源諧振器，其特征在于：在所述的耦合探針插入空氣耦合腔的內壁輸入口套有絕緣介質環。