[發明專利]一種掩膜板承載裝置及蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201711047601.8
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107805778B
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 林治明;黃俊杰;王琦;尹志;白音必力;郝志元;辛小林;王震;劉旭
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種掩膜板承載裝置，包括用于承載掩膜板的承載架，其特征在于，所述承載架包括并行設置的兩個支撐板，兩個所述支撐板均形成有用于支撐掩膜板的支撐面，兩個所述支撐板之間形成有用于掩膜板輸送小車行走的行走間隙，且沿所述支撐板的延伸方向，所述行走間隙的第一端形成用于掩膜板輸送小車進出的進出口；

每一個所述支撐板上均設有多個高于所述支撐面的基礎擋塊，且各所述基礎擋塊朝向所述行走間隙的表面與所述支撐面配合形成用于限定掩膜板位置的掩膜板限位空間；

每一個所述支撐板中與所述行走間隙的第二端對應的部位形成有第一擋塊，所述第一擋塊形成有朝向所述行走間隙的第一端、且與所述行走間隙延伸方向垂直的掩膜板姿態矯正面，兩個所述支撐板設有的第一擋塊的姿態矯正面處于同一平面，且沿與所述支撐面垂直的方向，所述姿態矯正面的高度高于所述基礎擋塊的高度。

2.根據權利要求1所述的掩膜板承載裝置，其特征在于，每一個所述支撐板中，支撐板與所述行走間隙的第二端對應部位設置有一個所述基礎擋塊，支撐板設有的第一擋塊固定于所述支撐板與行走間隙的第二端對應部位設置的基礎擋塊。

3.根據權利要求2所述的掩膜板承載裝置，其特征在于，每一個所述支撐板中，所述第一擋塊與所述基礎擋塊具有一體式結構。

4.根據權利要求2所述的掩膜板承載裝置，其特征在于，每一個所述支撐板中，所述第一擋塊朝向所述基礎擋塊的一側設有卡槽，所述基礎擋塊朝向所述第一擋塊的端部形成卡接部，所述第一擋塊和所述基礎擋塊之間通過所述卡接部與所述卡槽扣合連接。

5.根據權利要求2所述的掩膜板承載裝置，其特征在于，每一個所述支撐板中，所述第一擋塊通過螺紋連接固定于所述基礎擋塊。

6.根據權利要求1-5任一項所述的掩膜板承載裝置，其特征在于，所述第一擋塊具有的掩膜板姿態矯正面上設有緩沖層。

7.根據權利要求1-5任一項所述的掩膜板承載裝置，其特征在于，還包括：

用于安裝于掩膜板中與所述行走間隙平行的兩個側邊上的第一保護架；和\或，

用于安裝于所述掩膜板中與所述行走間隙第二端對應的角部的第二保護架。

8.根據權利要求7所述的掩膜板承載裝置，其特征在于，所述第一保護架朝向所述掩膜板的一側設有緩沖墊；或者，所述第二保護架朝向所述掩膜板的一側設有緩沖墊。

9.根據權利要求7所述的掩膜板承載裝置，其特征在于，所述第一保護架和所述第二保護架均設有用于固定銷釘穿過的銷釘孔。

10.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的掩膜板承載裝置。