[發明專利]一種掩膜板承載裝置及蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201711047601.8
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107805778B
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 林治明;黃俊杰;王琦;尹志;白音必力;郝志元;辛小林;王震;劉旭
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

本發明涉及顯示器件的制備設備技術領域，公開了一種掩膜板承載裝置及蒸鍍裝置，該掩膜板承載裝置包括承載架，承載架包括并行設置的兩個支撐板，兩個支撐板之間形成有行走間隙，每一個支撐板上均設有多個高于支撐面的基礎擋塊，每一個支撐板中與行走間隙的第二端對應的部位形成有第一擋塊，第一擋塊形成有朝向行走間隙的第一端、且與行走間隙延伸方向垂直的掩膜板姿態矯正面，且沿與支撐面垂直的方向，姿態矯正面的高度高于基礎擋塊的高度。上述掩膜板承載裝置中，第一擋塊對掩膜板輸送小車上的掩膜板的姿態起到調整作用，使掩膜板可以精確地被放置到承載架上，避免掩膜板位置二次調整，有效的提高了工作效率，有利于提高產能。

技術領域

本發明涉及顯示器件的制備設備技術領域，特別涉及一種掩膜板承載裝置及蒸鍍裝置。

背景技術

高精度金屬掩膜模式是現在制備顯示器件的常用方式，通過蒸鍍方式將有機電致發光材料按照預定程序蒸鍍到背板上，利用掩膜板上的圖形，蒸鍍紅、綠、藍有機物到規定的位置上。目前生產過程中，承載架上的掩膜板使用手動載車進行取放，但由于人為推送手動載車的過程方向不確定性，經常會發生掩膜板不能精確地放置在承載架的確定槽位內，還需要進行二次調整，這樣就出現了制備過程的工作效率降低，產能降低等問題。

發明內容

本發明提供了一種掩膜板承載裝置及蒸鍍裝置，該掩膜板承載裝置中，在承載架的行走間隙的第二端設置第一擋塊，第一檔塊對掩膜板起限位作用，且第一擋塊的姿態矯正面對掩膜板輸送小車上的掩膜板的姿態起到調整作用，使掩膜板可以精確地被放置到承載架的限位空間內，避免掩膜板位置二次調整，有效的提高了工作效率，有利于提高產能。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種掩膜板承載裝置，包括用于承載掩膜板的承載架，所述承載架包括并行設置的兩個支撐板，兩個所述支撐板均形成有用于支撐掩膜板的支撐面，兩個所述支撐板之間形成有用于掩膜板輸送小車行走的行走間隙，且沿所述支撐板的延伸方向，所述行走間隙的第一端形成用于掩膜板輸送小車進出的進出口；

每一個所述支撐板上均設有多個高于所述支撐面的基礎擋塊，且各所述基礎擋塊朝向所述行走間隙的表面與所述支撐面配合形成用于限定掩膜板位置的掩膜板限位空間；

每一個所述支撐板中與所述行走間隙的第二端對應的部位形成有第一擋塊，所述第一擋塊形成有朝向所述行走間隙的第一端、且與所述行走間隙延伸方向垂直的掩膜板姿態矯正面，兩個所述支撐板設有的第一擋塊的姿態矯正面處于同一平面，且沿與所述支撐面垂直的方向，所述姿態矯正面的高度高于所述基礎擋塊的高度。

上述掩膜板承載裝置中，掩膜板輸送小車載著掩膜板從行走間隙第一端的進出口進入行走間隙，則掩膜板也會隨掩膜板輸送小車進入承載架上的掩膜板限位空間，掩膜板輸送小車自行走間隙的第一端向行走間隙的第二端移動，即掩膜板輸送小車自行走間隙的第一端向前移動，當掩膜板輸送小車自行走間隙的第一端向前移動至掩膜板與第一擋塊的姿態矯正面剛接觸時，第一擋塊對掩膜板起到限位作用，另外，此時掩膜板輸送小車可以在人為控制下繼續向前輕微移動，則第一擋塊的姿態矯正面與掩膜板相抵，第一擋塊對掩膜板會產生一定的阻力，而掩膜板在受到第一擋塊的一定阻力狀況下，可以使掩膜板朝向第一擋塊的表面與第一擋塊的姿態矯正面完全接觸貼合，使掩膜板在掩膜板輸送小車上的位置姿態起到調整效果。