[發明專利]固定連接部件、研磨頭組件及拋光設備

有效

• 申請號: 201910347208.3
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN110026889B
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 季文明
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: B24B41/00
• 分類號: B24B41/00;F16B35/06
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 史治法

1.一種研磨頭組件，其特征在于，包括：

上研磨頭單元；

下研磨頭單元，位于所述上研磨頭單元的下方，且與所述上研磨頭單元之間具有間隙；所述下研磨頭單元包括下研磨頭本體及拋光布固定盤，所述拋光布固定盤位于所述下研磨頭本體的下表面；及

固定連接部件，所述固定連接部件包括內六角緊固件及外六角治具，所述外六角治具與所述內六角緊固件相連接，且至少部分位于所述內六角緊固件的頂部；所述內六角緊固件包括第一螺桿及內六角螺絲頭，所述內六角螺絲頭內設有上下延伸的螺紋孔，所述螺紋孔內設有內螺紋；所述外六角治具包括外六角螺絲及保護環，所述外六角螺絲包括第二螺桿及與所述第二螺桿頂部固定連接的外六角螺絲頭，所述第二螺桿的直徑與所述螺紋孔的直徑相同，所述外六角螺絲頭的直徑大于所述第二螺桿的直徑，所述第二螺桿上設有與所述螺紋孔內的所述內螺紋相匹配的外螺紋，所述第二螺桿旋置于所述螺紋孔內，所述保護環設置于所述外六角螺絲頭及所述第二螺桿的外圍，且所述保護環沿厚度方向自所述外六角螺絲頭的頂部延伸至所述第二螺桿的底部；所述保護環的內徑與所述外六角螺絲頭的直徑相同，且不小于所述內六角螺絲頭的直徑；

所述內六角緊固件部分旋置于所述下研磨頭單元內，以將所述拋光布固定盤與所述下研磨頭本體可拆卸連接；所述下研磨頭本體的上表面形成有多個沿所述下研磨頭本體的周向間隔排布的凹陷部，所述凹陷部內設有固定孔，所述固定連接部件一一對應設置于所述固定孔內；

軟橡膠涂層，所述軟橡膠涂層位于所述拋光布固定盤的下表面。

2.一種拋光設備，其特征在于，包括：

如權利要求1中所述的研磨頭組件；

拋光布，所述拋光布位于所述拋光布固定盤的下表面；及，

晶圓承載盤，所述晶圓承載盤位于所述拋光布的下方。

3.根據權利要求2所述的拋光設備，其特征在于：所述拋光設備還包括驅動裝置，所述驅動裝置與所述上研磨頭單元相連接，用于帶動所述研磨頭組件旋轉。

4.根據權利要求2所述的拋光設備，其特征在于：所述晶圓承載盤包括真空吸附盤。