[發(fā)明專利]溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器及其工作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910346345.5
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN110032020A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張文君;賀行政;龐昕
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山銳芯微電子有限公司
• 主分類號: G02F1/21
• 分類號: G02F1/21
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 薛異榮;吳敏

1.一種溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，包括：

諧振腔結(jié)構(gòu)，所述諧振腔結(jié)構(gòu)包括相對的第一腔板和第二腔板，第一腔板包括第一壓電層和第一導(dǎo)電層，第一導(dǎo)電層位于第一壓電層沿第一腔板至第二腔板方向的兩側(cè)表面；

第一電壓源，第一電壓源分別與第一壓電層兩側(cè)的第一導(dǎo)電層連接，第一電壓源適于施加第一補(bǔ)償電壓至第一壓電層兩側(cè)的第一導(dǎo)電層；

溫度傳感器，所述溫度傳感器適于測量所述諧振腔結(jié)構(gòu)內(nèi)的溫度；

控制裝置，所述控制裝置具有第一輸出端，所述控制裝置的輸入端與所述溫度傳感器連接，所述第一輸出端與第一電壓源連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第一壓電層的材料包括壓電陶瓷材料、壓電玻璃材料或壓電無機(jī)化合物材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電層的材料為透明導(dǎo)電材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電層中具有若干第一開口，所述第一開口的底部暴露出第一壓電層的表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電層為梳狀結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第一壓電層的厚度為0.1毫米～50毫米。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述控制裝置包括：信號放大模塊、信號轉(zhuǎn)換模塊和信號輸出模塊，所述信號放大模塊的輸入端與所述溫度傳感器連接，所述信號放大模塊的輸出端與信號轉(zhuǎn)換模塊的輸入端連接，信號轉(zhuǎn)換模塊的輸出端與信號輸出模塊的輸入端連接，信號輸出模塊具有第一輸出端。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第二腔板包括第二壓電層和第二導(dǎo)電層，第二導(dǎo)電層位于第二壓電層沿第一腔板至第二腔板方向的兩側(cè)表面；所述穩(wěn)頻光波濾波器還包括：第二電壓源，第二電壓源分別與第二壓電層兩側(cè)的第二導(dǎo)電層連接，第二電壓源適于施加第二補(bǔ)償電壓至第二壓電層兩側(cè)的第二導(dǎo)電層；所述控制裝置還具有第二輸出端，所述第二輸出端與第二電壓源連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第二壓電層的材料包括壓電陶瓷材料、壓電玻璃材料或壓電無機(jī)化合物材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第二導(dǎo)電層的材料為透明導(dǎo)電材料。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第二導(dǎo)電層中具有若干第二開口，所述第二開口的底部暴露出第二壓電層的表面。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第二導(dǎo)電層為梳狀結(jié)構(gòu)。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器，其特征在于，所述第二壓電層的厚度為0.1毫米～50毫米。

14.如權(quán)利要求1至7任意一項(xiàng)所述的溫度自適應(yīng)的穩(wěn)頻光波濾波器的工作方法，其特征在于，包括：

所述溫度傳感器測量所述諧振腔結(jié)構(gòu)內(nèi)的溫度；

所述控制裝置根據(jù)諧振腔結(jié)構(gòu)內(nèi)的溫度信息輸出補(bǔ)償電壓控制信息，所述補(bǔ)償電壓控制信息包括第一控制信息，所述控制裝置將第一控制信息傳輸至第一電壓源；

第一電壓源根據(jù)第一控制信息施加第一補(bǔ)償電壓至第一壓電層兩側(cè)的第一導(dǎo)電層；

施加第一補(bǔ)償電壓至第一導(dǎo)電層后，第一壓電層的厚度發(fā)生變化，第一壓電層的厚度變化補(bǔ)償諧振腔結(jié)構(gòu)內(nèi)的溫度變化引起的腔長變化。