[發(fā)明專利]一種基于損失模式共振的微結(jié)構(gòu)光纖傳感器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910345917.8 | 申請日： | 2019-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN109974925A | 公開（公告）日： | 2019-07-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王琦;井建迎;趙萬明;宋志偉;宋行;王雪州 | 申請（專利權(quán)）人： | 東北大學(xué) |
| 主分類號： | G01L11/02 | 分類號： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 21212 | 代理人： | 姜玉蓉;李洪福 |
| 地址： | 110819 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微結(jié)構(gòu)光纖 空氣孔 傳感器 橡膠 傳感區(qū)域 損失模式 共振 雙層膜結(jié)構(gòu) 半圓結(jié)構(gòu) 測量外界 光子光纖 圓心處 折射率 涂覆 氣壓 靈敏 外部 移動 轉(zhuǎn)化 | ||
1.一種基于損失模式共振的微結(jié)構(gòu)光纖傳感器，其特征在于包括：微結(jié)構(gòu)光纖(1)，所述微結(jié)構(gòu)光纖(1)包括傳感區(qū)域，該傳感區(qū)域從內(nèi)至外依次涂覆TiO2薄膜(2)、HfO2薄膜(3)和橡膠(4)，所述微結(jié)構(gòu)光纖(1)外表面兩側(cè)呈不同大小的半圓結(jié)構(gòu)，所述微結(jié)構(gòu)光纖結(jié)構(gòu)(1)的圓心處設(shè)置有多個空氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于損失模式共振的微結(jié)構(gòu)光纖傳感器，其特征還在于：所述空氣孔包括六個大小相同的大空氣孔(12)和一個小空氣孔(11)，所述大空氣孔(12)的橫截面面積大于小空氣孔(11)的橫截面面積；其中六個大空氣孔(12)以正六邊形排布設(shè)置，其中小空氣孔(11)設(shè)置在正六邊形的中心處。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于損失模式共振的微結(jié)構(gòu)光纖傳感器，其特征還在于：所述大空氣孔(12)和一小空氣孔(11)為圓形，其中大空氣孔(12)的直徑為5nm-7nm，小空氣孔(11)的的直徑為0.9nm-1.0nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于損失模式共振的微結(jié)構(gòu)光纖傳感器，其特征還在于：所述TiO2薄膜(2)的厚度為110nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于損失模式共振的微結(jié)構(gòu)光纖傳感器，其特征還在于：所述HfO2薄膜(3)的厚度為40-50nm。
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