[發明專利]一種太陽能電池及其緩沖層和制備方法有效
| 申請號： | 201910345516.2 | 申請日： | 2019-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN110061087B | 公開（公告）日： | 2020-02-21 |
| 發明（設計）人： | 張準;王磊 | 申請（專利權）人： | 圣暉萊南京能源科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/0749 | 分類號： | H01L31/0749;H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/048 |
| 代理公司： | 北京天達知識產權代理事務所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 叢洪杰;和歡慶 |
| 地址： | 211135 江蘇省南京市麒麟高新*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 太陽能電池 及其 緩沖 制備 方法 | ||
1.一種太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：將沉積有背面電極層和光吸收層的基板依次經過第一靶材組件和第二靶材組件，采用磁控濺射工藝在光吸收層上依次形成硒化銦層和硫化銦層；
所述第一靶材組件包括交替設置的鈉源和硒化銦源，所述第二靶材組件包括交替設置的鈉源和硫化銦源。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，第一靶材組件中所述鈉源和所述硒化銦源的數量均至少為一個，第二靶材組件中所述鈉源和所述硫化銦源的數量均至少為一個。
3.根據權利要求2所述的太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，所述第一靶材組件中鈉源和硒化銦源的數量均為兩個，所述第二靶材組件中鈉源和硫化銦源的數量均為兩個。
4.根據權利要求1所述的太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，具體步驟如下：
步驟1：將鈉源和硒化銦源置于成膜區，調節鈉源和硒化銦源對應的磁場強度，將沉積有背面電極層和光吸收層的基板傳送經過第一靶材組件，得到硒化銦層；
步驟2：將鈉源和硫化銦源置于成膜區，調節鈉源和硫化銦源對應的磁場強度，將沉積有背面電極層、光吸收層和硒化銦層的基板傳送經過第二靶材組件，得到硫化銦層。
5.根據權利要求1-4任一項所述的太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，制備得到的太陽能電池緩沖層包括硒化銦層和硫化銦層，
所述硒化銦層位于靠近光吸收層的一側，所述硫化銦層和所述硒化銦層均含有鈉。
6.根據權利要求5所述的太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，所述硫化銦層和所述硒化銦層均至少包括一層。
7.根據權利要求5所述的太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，所述鈉以Na2S或Na2Se的形式存在。
8.根據權利要求5所述的太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，所述硫化銦層的層數為2-8層，所述硒化銦層的層數為1-2層。
9.根據權利要求8所述的太陽能電池緩沖層的制備方法，其特征在于，所述硫化銦層的層數為2層，所述硒化銦層的層數為2層。
10.一種薄膜太陽能電池，其特征在于，包括依次層疊的基板、背面電極層、光吸收層、緩沖層和表面電極層；所述緩沖層為使用權利要求1-9任一項所述的制備方法制備得到的緩沖層。
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H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
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H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
