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[發明專利]一種用于鐵磁性掩膜版的熱蒸發鍍膜器基板在審

專利信息
申請號: 201910343684.8 申請日: 2019-04-26
公開(公告)號: CN110129721A 公開(公告)日: 2019-08-16
發明(設計)人: 李文武;許洋;黃凡銘;潘哲成;胡志高;褚君浩 申請(專利權)人: 華東師范大學
主分類號: C23C14/04 分類號: C23C14/04;C23C14/26;C23C14/50
代理公司: 上海藍迪專利商標事務所(普通合伙) 31215 代理人: 徐筱梅;張翔
地址: 200241 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 熱蒸發鍍膜 掩膜版 載物盤 鐵磁性 磁力單元 圓形罩殼 按鈕開關 開啟按鈕開關 薄膜樣品 繁瑣工藝 膠帶粘貼 器基板 貼合度 器基 吸附 蒸汽 對準 損傷
【權利要求書】:

1.一種用于鐵磁性掩膜版的熱蒸發鍍膜器基板,其特征在于,它包括圓形罩殼(1)、按鈕開關(2)、磁力單元(3)及圓形載物盤(4);

所述圓形罩殼(1)內設有螺線管腔(16)、一側設有開關座(11)、底部設有電池盒(12),電池盒(12)內一端設有陽極金屬墊片(13)、另一端設有陰極金屬墊片(14)及彈簧(15);

所述磁力單元(3)由耐高溫鋰電池(31)及螺線管(32)構成;

所述圓形載物盤(4)扣接或焊接在圓形罩殼(1)頂端;

所述按鈕開關(2)為設有第一電極(21)與第二電極(22)的常開式開關,按鈕開關(2)設于圓形罩殼(1)的開關座(11)內;

所述磁力單元(3)設于圓形罩殼(1)內,其中,耐高溫鋰電池(31)設于電池盒(12)內,螺線管(32)設于圓形罩殼(1)的螺線管腔(16)內;

所述耐高溫鋰電池(31)的一端與電池盒(12)的陽極金屬墊片(13)觸及、另一端經彈簧(15)與陰極金屬墊片(14)觸及,螺線管(32)的一端與按鈕開關(2)的第一電極(21)連接,螺線管(32)的另一端與電池盒(12)內的陰極金屬墊片(14)連接,按鈕開關(2)的第二電極(22)與電池盒(12)內陽極金屬墊片(13)連接。

2.根據權利要求1所述的一種用于鐵磁性掩膜版的熱蒸發鍍膜器基板,其特征在于,所述圓形載物盤(4)的直徑大于圓形罩殼(2)的外徑。

3.根據權利要求1所述的一種用于鐵磁性掩膜版的熱蒸發鍍膜器基板,其特征在于,所述螺線管(32)的軸線過圓形載物盤(4)的圓心。

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