[發明專利]寬譜段大數值孔徑超高通量的顯微物鏡光學系統

在審

• 申請號: 201910343046.6
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN110045492A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 張新;王超;曲賀盟;管海軍;史廣維
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;長春長光智歐科技有限公司
• 主分類號: G02B21/02
• 分類號: G02B21/02;G02B17/08;G02B21/33;G02B1/00
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

1.寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述光學系統從物平面到像平面沿其光軸方向依次包括第一透鏡組、第二透鏡組、第三透鏡組、第四透鏡組，共二十片透鏡；

所述第一透鏡組為折反射透鏡組，通過兩次折疊光路將物平面發射出的光線成像到一次像面，所述第一透鏡組具有正光焦度；

所述第二透鏡組、第三透鏡組將穿過一次像面的光線成像到二次像面，所述第二透鏡組、第三透鏡組均具有負光焦度；

所述第四透鏡組將穿過二次像面的光線成像到像平面。

2.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述第一透鏡組包括三片透鏡，從物平面到像平面沿光軸方向依次為凸向像平面的平凸正透鏡(1)、彎月負透鏡(2)、彎月負透鏡(3)。

3.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述第二透鏡組包括四片透鏡，從物平面到像平面沿光軸方向依次為彎月正透鏡(4)、凸向像平面的平凸正透鏡(5)、彎月正透鏡(6)、彎月正透鏡(7)。

4.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述第三透鏡組包括五片透鏡，從物平面到像平面沿光軸方向依次為雙凸正透鏡(8)、彎月負透鏡(9)、雙凸正透鏡(10)、凸向物平面的平凸正透鏡(11)、彎月負透鏡(12)。

5.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述第四透鏡組包括八片透鏡，從物平面到像平面沿光軸方向依次為彎月正透鏡(13)、彎月正透鏡(14)、彎月正透鏡(15)、雙凹負透鏡(16)、彎月正透鏡(17)、彎月正透鏡(18)、彎月正透鏡(19)、凸向物平面的平凸正透鏡(20)。

6.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，在所述第二透鏡組和第三透鏡組之間設置光闌(21)。

7.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述光學系統的物平面位置采用浸液方式。

8.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述光學系統的數值孔徑小于等于1.0，成像線視場為小于等于2.8mm。

9.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述光學系統的成像譜段為300nm-800nm。

10.如權利要求1所述的寬譜段大數值孔徑的顯微物鏡光學系統，其特征在于，所述光學系統為同一種材料制成，光學系統的材料采用熔石英材料。