[發(fā)明專利]一種基于衍射光柵的顯微物鏡數(shù)值孔徑測量方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910342715.8 | 申請日： | 2019-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN109916598A | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張蓓;肖天宇;王希奇;閆鵬;胡慶雷 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京航空航天大學(xué) |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100191*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 顯微物鏡 數(shù)值孔徑 衍射光柵 數(shù)值孔徑測量 衍射條紋 測量 物鏡數(shù)值孔徑 高精度測量 圖像傳感器 邊界位置 測量物鏡 光束通過 光學(xué)檢測 函數(shù)關(guān)系 衍射圖像 后焦面 焦面 視場 衍射 液浸 觀測 計算機 | ||
1.一種基于衍射光柵的顯微物鏡數(shù)值孔徑測量方法，其特征在于，應(yīng)用所述器件對待測顯微物鏡進(jìn)行數(shù)值孔徑的測量，所述器件包括：準(zhǔn)直照明光源、衍射光柵、待測顯微物鏡、圖像傳感器、成像透鏡組、分光棱鏡；衍射光柵置于待測顯微物鏡的焦面上或者經(jīng)由成像透鏡組置于待測顯微鏡焦面的共軛面上，圖像傳感器置于待測顯微物鏡的后焦面上或者經(jīng)由成像透鏡組置于待測顯微鏡后焦面的共軛面上，所述裝置中，準(zhǔn)直照明光源發(fā)出的準(zhǔn)直光和待測顯微物鏡共軸；
所述數(shù)值孔徑測量方法，其特征還在于，所述器件中衍射光柵類型為透射式光柵或反射式光柵，為一維光柵或者二維光柵；
所述數(shù)值孔徑測量方法，其特征還在于：準(zhǔn)直照明光源發(fā)出的準(zhǔn)直光束照射在衍射光柵上發(fā)生衍射并在顯微物鏡的后焦面成像，從圖像傳感器上可獲得多級衍射條紋；
所述數(shù)值孔徑測量方法，其特征還在于，采用以下公式獲得待測顯微物鏡數(shù)值孔徑：
上式中，NA代表待測顯微物鏡的數(shù)值孔徑；n0表示顯微物鏡與衍射光柵間介質(zhì)的折射率；k代表衍射條紋的級數(shù)，θk代表第k級衍射條紋對應(yīng)的衍射角，xm為待測顯微物鏡后焦面上的最大光圈位置，xk為圖像傳感器上獲得的顯微物鏡后焦面上第k級衍射條紋位置，θk可由衍射光柵亮紋公式獲得：
上式中，d代表光柵常數(shù)，λ代表入射光波長。
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