[發明專利]一種基于衍射光柵的顯微物鏡數值孔徑測量方法在審
| 申請號： | 201910342715.8 | 申請日： | 2019-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN109916598A | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發明（設計）人： | 張蓓;肖天宇;王希奇;閆鵬;胡慶雷 | 申請（專利權）人： | 北京航空航天大學 |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100191*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯微物鏡 數值孔徑 衍射光柵 數值孔徑測量 衍射條紋 測量 物鏡數值孔徑 高精度測量 圖像傳感器 邊界位置 測量物鏡 光束通過 光學檢測 函數關系 衍射圖像 后焦面 焦面 視場 衍射 液浸 觀測 計算機 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于衍射光柵的顯微物鏡數值孔徑測量方法，其特征在于，應用所述器件對待測顯微物鏡進行數值孔徑的測量，所述器件包括：準直照明光源、衍射光柵、待測顯微物鏡、圖像傳感器、成像透鏡組、分光棱鏡；衍射光柵置于待測顯微物鏡的焦面上或者經由成像透鏡組置于待測顯微鏡焦面的共軛面上，圖像傳感器置于待測顯微物鏡的后焦面上或者經由成像透鏡組置于待測顯微鏡后焦面的共軛面上，所述裝置中，準直照明光源發出的準直光和待測顯微物鏡共軸；
所述數值孔徑測量方法，其特征還在于，所述器件中衍射光柵類型為透射式光柵或反射式光柵，為一維光柵或者二維光柵；
所述數值孔徑測量方法，其特征還在于：準直照明光源發出的準直光束照射在衍射光柵上發生衍射并在顯微物鏡的后焦面成像，從圖像傳感器上可獲得多級衍射條紋；
所述數值孔徑測量方法，其特征還在于，采用以下公式獲得待測顯微物鏡數值孔徑：
上式中，NA代表待測顯微物鏡的數值孔徑；n0表示顯微物鏡與衍射光柵間介質的折射率；k代表衍射條紋的級數，θk代表第k級衍射條紋對應的衍射角，xm為待測顯微物鏡后焦面上的最大光圈位置，xk為圖像傳感器上獲得的顯微物鏡后焦面上第k級衍射條紋位置，θk可由衍射光柵亮紋公式獲得：
上式中，d代表光柵常數，λ代表入射光波長。
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