[發明專利]光電轉換元件及其制造方法、成像裝置、光學傳感器有效
| 申請號: | 201910342621.0 | 申請日: | 2015-04-21 |
| 公開(公告)號: | CN110265550B | 公開(公告)日: | 2023-10-24 |
| 發明(設計)人: | 森脅俊貴 | 申請(專利權)人: | 索尼公司 |
| 主分類號: | H10K30/60 | 分類號: | H10K30/60;H10K30/85;H10K71/00 |
| 代理公司: | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 | 代理人: | 王新春;曹正建 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光電 轉換 元件 及其 制造 方法 成像 裝置 光學 傳感器 | ||
1.一種光電轉換元件,其包括:
第一電極;
有機光電轉換層,其布置在所述第一電極的上層中,所述有機光電轉換層包括一種或多種有機半導體材料;
緩沖層,其布置在所述有機光電轉換層的上層中,所述緩沖層由非晶無機材料構成并且具有7.7至8.0eV的能級,且所述緩沖層與所述有機光電轉換層之間的HOMO能級差為2eV以上;以及
第二電極,其布置在所述緩沖層的上層中。
2.如權利要求1所述的光電轉換元件,其中,所述緩沖層由多種金屬氧化物形成。
3.如權利要求2所述的光電轉換元件,其中,所述金屬氧化物中的至少一者是金屬氧化物半導體。
4.如權利要求2所述的光電轉換元件,其中,所述緩沖層由從如下群組中選擇的多種金屬氧化物形成,所述群組由鋅氧化物、硅氧化物、錫氧化物、鈮氧化物、鈦氧化物、鉬氧化物、鋁氧化物、基于In-Ga-Zn的氧化物(IGZO)、鎂氧化物和鉿氧化物構成。
5.如權利要求1所述的光電轉換元件,其中,所述緩沖層由各自具有不同能級的多個層構成。
6.如權利要求1所述的光電轉換元件,其中,所述緩沖層具有3至300nm的厚度。
7.如權利要求1所述的光電轉換元件,其中,所述緩沖層具有100kΩ/□以上的表面電阻。
8.一種成像裝置,其包括如權利要求1所述的光電轉換元件。
9.一種光學傳感器,其包括如權利要求1所述的光電轉換元件。
10.一種制造光電轉換元件的方法,所述方法包括:
形成第一電極的步驟;
在所述第一電極的上層中形成有機光電轉換層的步驟,所述有機光電轉換層包括一種或多種有機半導體材料;
在所述有機光電轉換層的上層中形成緩沖層的步驟,所述緩沖層由非晶無機材料構成并且具有7.7至8.0eV的能級,且所述緩沖層與所述有機光電轉換層之間的HOMO能級差為2eV以上;以及
在所述緩沖層的上層中形成第二電極的步驟。
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