[發(fā)明專利]離子束能量控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910340903.7
• 申請日: 2019-04-25
• 公開（公告）號: CN111863576B
• 公開（公告）日: 2023-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張勁;陳炯;夏世偉
• 申請（專利權(quán)）人: 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司;上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01J37/304
• 分類號: H01J37/304;H01J37/317
• 代理公司: 上海弼興律師事務(wù)所 31283
• 代理人: 薛琦;張冉

1.一種離子束能量控制裝置，其特征在于，包括：

入口端和出口端，所述入口端供離子束射入，所述出口端供離子束射出；

在所述入口端和所述出口端之間設(shè)置的若干電極對，每個電極對分別包括相對設(shè)置的第一電極和第二電極，所述第一電極和所述第二電極均為棒狀，所述第一電極和所述第二電極之間的空間供離子束通過；

所述若干電極對中至少一電極對形成第一電極群，施加至所述第一電極群的電壓使得離子束在通過所述第一電極群形成的束流通道時向第一方向偏轉(zhuǎn)；

所述若干電極對中至少一電極對形成第二電極群，施加至所述第二電極群的電壓使得離子束在通過所述第二電極群形成的束流通道時向第二方向偏轉(zhuǎn)，所述第二方向與所述第一方向反向。

2.如權(quán)利要求1所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，離子束在通過所述若干電極對形成的束流通道時離子束中心軌跡呈S形彎曲。

3.如權(quán)利要求1或2所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，所述離子束能量控制裝置還包括從所述入口端到最靠近所述入口端的電極對之間依次設(shè)置的：

入口電極對，所述入口電極對包括相對設(shè)置的兩個入口電極，所述入口電極與所述入口端有相同的電位；

抑制電極對，所述抑制電極對包括相對設(shè)置的兩個抑制電極，所述抑制電極有相比所述入口電極更負的電位；

所述離子束能量控制裝置還包括從所述出口端到最靠近所述出口端的電極對之間設(shè)置的：

出口電極對，所述出口電極對包括相對設(shè)置的兩個出口電極，所述出口電極的電壓等于地電壓。

4.如權(quán)利要求3所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，所述離子束能量控制裝置還包括：

第一縱端電極對，所述第一縱端電極對包括設(shè)置于所述第一電極群之間且相對設(shè)置的兩個第一縱端電極；

第二縱端電極對，所述第二縱端電極對設(shè)置于所述第二電極群之間且相對設(shè)置的兩個第二縱端電極；

所述第一縱端電極對有比所述第一縱端電極對的縱向連線中心電位更正的電位；

所述第二縱端電極對有比所述第二縱端電極對的縱向連線中心電位更正的電位。

5.如權(quán)利要求1所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極上下相對設(shè)置；

所述第一方向為向上，所述第二方向為向下；或，所述第一方向為向下，所述第二方向為向上。

6.如權(quán)利要求5所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，所述第一電極群和所述第二電極群中：

施加的電壓使得離子束向上偏轉(zhuǎn)的電極群內(nèi)，設(shè)置于上部的電極的電壓低于相對設(shè)置于下部的電極的電壓；

施加的電壓使得離子束向下偏轉(zhuǎn)的電極群內(nèi)，設(shè)置于上部的電極的電壓高于相對設(shè)置于下部的電極的電壓。

7.如權(quán)利要求5所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，所述第一電極群和所述第二電極群中：

沿束流前進方向，當(dāng)施加的電壓使得離子束向上偏轉(zhuǎn)的電極群設(shè)置于施加的電壓使得離子束向下偏轉(zhuǎn)的電極群的前方時，后方的第一電極的位置不低于前方的第一電極的位置，后方的第二電極的位置不低于前方的第二電極的位置；

或，沿束流前進方向，當(dāng)施加的電壓使得離子束向上偏轉(zhuǎn)的電極群設(shè)置于施加的電壓使得離子束向下偏轉(zhuǎn)的電極群的后方時，后方的第一電極的位置不高于前方的第一電極的位置，后方的第二電極的位置不高于前方的第二電極的位置。

8.如權(quán)利要求1所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極的電壓均非正值。

9.如權(quán)利要求1所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極的高度均大于束流高度。

10.如權(quán)利要求9所述的離子束能量控制裝置，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極的高度的最低值在500～600mm之間。