[發明專利]可變極數的多極離子導引裝置及射頻信號施加方法

有效

• 申請號: 201910340894.1
• 申請日: 2019-04-25
• 公開（公告）號: CN110176384B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 龐駿德;朱勇勇;姜健;景加榮;郭錫巖;丁正知;肖育
• 申請（專利權）人: 上海裕達實業有限公司
• 主分類號: H01J49/06
• 分類號: H01J49/06;H01J49/02;H01J49/04
• 代理公司: 上海段和段律師事務所 31334
• 代理人: 李佳俊;郭國中

1.一種應用于可變極數的多極離子導引裝置的射頻信號施加方法，其特征在于，所述可變極數的多極離子導引裝置，由4n根導引桿圍成中心區域，中心區域的每側分布n根導引桿，其中n大于或者等于2；

當n為奇數時，每側中間的1根或者m根導引桿為主桿，其余為副桿，m≤n-2；

當n為偶數且n＞2時，每側中間的2根或者m根導引桿為主桿，其余為副桿；

當n＝2時，每側2根引導桿中一根為主桿，另一根為副桿；

導引桿作為電極的形狀為一端寬而另一端細的梯形結構，寬的部分為離子引入側，細的部分為離子引出部分；在離子的傳輸路徑上，隨著離子的深入運動，導引通道寬度逐漸變窄；

所述導引桿是圓柱形電極、雙曲面電極、三角形柱狀電極、片狀電極中的任一種或任多種；

所述導引桿兩端的大小和形狀采用相同或者不相同，或者相同與不相同的結合；

施加4路射頻信號，其中第一路射頻信號分別施加在位于中心區域上側、下側的主桿上，第二路射頻信號分別施加在位于中心區域的左側、右側的主桿上，第三路射頻信號分別施加在位于中心區域的上側、下側的副桿上，第四路射頻信號分別施加在位于中心區域的左側、右側的副桿上；

所述第一路射頻信號、第二路射頻信號分別是兩個耦合線圈產生相同幅度、相同頻率、相位相差180°的2路射頻信號+RF和-RF；所述第三路射頻信號、第四路射頻信號是將第一路射頻信號、第二路射頻信號通過帶中心抽頭的可調線圈產生相同幅度、相同頻率、相位相差180°的2路射頻信號+δRF和-δRF，δ為副桿與主桿上所施加的射頻電壓的比例系數，取值范圍為(0,1]；

所述副桿上施加的射頻信號通過n個帶中心抽頭的可調線圈產生相同幅度、相同頻率、相位相差180°的2n路射頻信號分別為+δRF和-δRF、+βRF和-βRF以及+γRF和-γRF共n對相位相反的射頻信號，其中δ≠β≠γ，n＝3，β與γ分別為不同副桿與主桿上所施加的射頻電壓的比例系數，取值范圍皆為(0,1]。

2.根據權利要求1所述的可變極數的多極離子導引裝置的射頻信號施加方法，其特征在于，所述每側導引桿之間的間隔相同或者不相同。

3.根據權利要求1所述的可變極數的多極離子導引裝置的射頻信號施加方法，其特征在于，對每個導引桿獨立施加電信號。

4.根據權利要求1所述的可變極數的多極離子導引裝置的射頻信號施加方法，其特征在于，比例系數δ的值大小和正負能夠調整，以改變離子導引極數。