[發(fā)明專利]一種蒸鍍掩膜板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910337072.8
• 申請日: 2019-04-25
• 公開（公告）號: CN110029307B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王偉杰;朱海彬;張峰杰;孫中元
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種蒸鍍掩膜板，其特征在于，包括掩膜板框架本體和多個金屬掩膜條，其中，所述掩膜板框架本體包括：

邊框；

設(shè)置于所述邊框內(nèi)、用以將所述邊框內(nèi)部空間分割成與所述金屬掩膜條對應(yīng)的蒸鍍開口的支撐條，其中，所述支撐條為多個，且平行排列，每個支撐條的兩端焊接于所述邊框上、且所述每個支撐條上均設(shè)有凸起部，所述凸起部的頂部具有用于與玻璃基板吸附貼合的貼合面，且所述凸起部的寬度小于所述每個支撐條的寬度；所述支撐條具有用于與金屬掩膜條搭接的支撐面；所述貼合面與所述支撐面之間的高度差大于所述金屬掩膜條的厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板，其特征在于，所述凸起部設(shè)置于沿第一方向排列的每相鄰兩個所述蒸鍍開口之間，且沿第二方向延伸；或

所述凸起部設(shè)置于沿第二方向排列的每相鄰兩個所述蒸鍍開口之間，且沿第一方向延伸；或

所述支撐條為內(nèi)部設(shè)有陣列排布的所述蒸鍍開口、且四周均焊接于所述邊框上的整面的金屬薄片，沿第一方向排列的每相鄰兩個所述蒸鍍開口之間和沿第二方向排列的每相鄰兩個所述蒸鍍開口之間均設(shè)置有所述凸起部；

其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板，其特征在于，所述凸起部和所述支撐條具有一體式結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍掩膜板，其特征在于，所述支撐條與所述凸起部的厚度和大于30um。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板，其特征在于，所述凸起部與所述支撐條為雙層疊加結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板，其特征在于，所述支撐面上具有平坦化層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍掩膜板，其特征在于，所述平坦化層為金屬層或者有機(jī)層。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍掩膜板，其特征在于，所述平坦化層的厚度為1~10um。