[發明專利]一種含氫廢氣中氯硅烷的回收方法在審
| 申請號： | 201910336887.4 | 申請日： | 2019-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN110280098A | 公開（公告）日： | 2019-09-27 |
| 發明（設計）人： | 陳洪建 | 申請（專利權）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/02 | 分類號： | B01D53/02 |
| 代理公司： | 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王偉鋒;張小勇 |
| 地址： | 832000 新疆維吾爾自治區石*** | 國省代碼： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氯硅烷 含氫廢氣 回收 活性炭吸附塔 減壓 吸附 加壓 活性炭吸附柱 樹脂吸附塔 液態氯硅烷 活性炭 氮氣 再生 回收利用 加壓過程 降溫冷凝 冷卻降溫 氣液分離 樹脂吸附 吸附飽和 吸附濃縮 微量氯 除雜 吹掃 硅烷 加熱 返回 排放 | ||
1.一種含氫廢氣中氯硅烷的回收方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)收集各單元排放的含氫廢氣后，加壓、降溫，再采用活性炭吸附塔對氯硅烷進行吸附；
(2)活性炭吸附塔氯硅烷吸附飽和后，對活性炭吸附柱加熱、減壓，由頂部通入氮氣進行吹掃，將吸附在活性炭氯硅烷再生出來；
(3)再生出來的氯硅烷降溫冷凝到-40℃后，進行氣液分離，氣相氯硅烷經升溫后，返回到步驟(1)的加壓過程；
(4)分離出來的液態氯硅烷采用樹脂吸附塔除雜后，可并入系統使用。
2.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步驟(1)中，采用氫氣壓縮機加壓到0.3-0.5MPa。
3.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步驟(1)中，采用乙二醇降溫至5-10℃。
4.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步驟(1)中，活性炭吸附塔對氯硅烷進行吸附，剩余的氮氣、氫氣混合物送三廢工段統一高點放空。
5.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步驟(2)中，當活性炭吸附塔吸附到一定時間后，吸附能力下降，必須切換另一個塔吸附。
6.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步驟(2)中，用熱水給活性炭吸附柱加熱、減壓。
7.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步驟(3)中，再生出來的氯硅烷，經循環水換熱器、自身換熱器、氟利昂換熱器降溫冷凝到-40℃。
8.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于，
所述的步驟(4)中，采用樹脂吸附塔除雜的具體操作步驟為：將液態氯硅烷用屏蔽泵加壓，從樹脂吸附塔底部進入，從頂部出來，經過濾器攔截樹脂后進入物料緩沖罐儲存。
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