[發(fā)明專利]晶圓清洗槽反復(fù)晃動機構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910331256.3
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN110034052A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王靜強;徐福興;陳亮
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/08;B08B3/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.晶圓清洗槽反復(fù)晃動機構(gòu)，包括舌板(20)、伺服電機(30)、滾珠絲桿副(40)、兩條線性滑軌(50)和兩組軸承座(60)；所述滾珠絲桿副(40)的絲桿兩端分別插入兩組軸承座(60)的軸承內(nèi)孔中，所述伺服電機(30)的輸出軸與所述滾珠絲桿副(40)中的螺桿固連；兩條所述線性滑軌(50)對稱設(shè)于所述滾珠絲桿副(40)的兩側(cè)；所述所述滾珠絲桿副(40)的滾珠軸套的一側(cè)固設(shè)有與所述線性滑軌(50)上的滑塊連接的基座(70)，其特征在于，

反復(fù)晃動機構(gòu)還包括采用PP板焊接而成的外罩，其內(nèi)部腔室填充有氮氣；所述滾珠絲桿副(40)、兩條線性滑軌(50)和兩組軸承座(60)為與所述外罩內(nèi)部，所述舌板(20)位于所述外罩外部；所述外罩對應(yīng)所述舌板(20)處設(shè)置有開口(17)，所述舌板(20)一個端部穿過所述開口(17)并延伸至所述外罩內(nèi)部與所述基座(70)固連；所述外罩內(nèi)部對應(yīng)所述開口(17)處設(shè)置有貼合所述外罩內(nèi)壁的上擋板(81)和下?lián)醢?82)，所述上擋板(81)的底部與所述舌板(20)的頂部固連，所述下?lián)醢?82)的頂部與所述舌板(20)的底部固連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗槽反復(fù)晃動機構(gòu)，其特征在于，所述舌板(20)為鋁合金材質(zhì)，其外部包覆有鐵氟龍涂層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗槽反復(fù)晃動機構(gòu)，其特征在于，所述上擋板(81)的底部和所述下?lián)醢?82)的頂部均向所述外罩外部彎折，并貼附與所述舌板(20)的表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗槽反復(fù)晃動機構(gòu)，所述線性滑軌(50)具有檢測滑塊位移位置的光電開關(guān)(90)，所述基座(70)上設(shè)置有觸發(fā)所述光電開關(guān)(90)的定位擋片(100)；所述外罩于所述線性滑軌(50)的一側(cè)固設(shè)有導(dǎo)向架(110)，所述導(dǎo)向架(110)上設(shè)置有位置可調(diào)的安裝臺(130)，所述光電開關(guān)(90)固定于所述安裝臺(130)的頂部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓清洗槽反復(fù)晃動機構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向架(110)是由固定在罩殼中的平板(111)、對稱位于平板(111)頂部的支撐板(112)，以及與平板(111)平行設(shè)于支撐板(112)外部的連接板(113)組成的一體式結(jié)構(gòu)；所述安裝臺(130)的設(shè)有卡接在所述連接板(113)上的卡板(131)，所述安裝設(shè)置有所述安裝臺(130)中設(shè)置有橢圓孔，以一螺栓穿過所述橢圓孔抵接在連接板(113)的頂部實現(xiàn)安裝臺(130)的固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗槽反復(fù)晃動機構(gòu)，其特征在于，所述伺服電機(30)固設(shè)于所述外罩頂部，所述伺服電機(30)的外部罩有密封罩殼。