[發明專利]用于小角X射線散射測量的X射線檢測光學器件

在審

• 申請號: 201910330448.2
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN110398506A
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發明（設計）人: 馬修·沃明頓;亞瑟·佩萊德;亞歷山大·克羅赫馬爾
• 申請（專利權）人: 布魯克杰維以色列公司
• 主分類號: G01N23/20008
• 分類號: G01N23/20008;G01N23/201;G01N23/207;H01J35/14
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 王紅英;楊明釗

1.一種X射線裝置，包括：

支架，所述支架被配置為保持樣本；

X射線源，所述X射線源被配置成朝著所述樣本的第一側引導X射線的波束；

檢測器，所述檢測器被定位于所述樣本的與所述第一側相對的第二側上，以便接收透射穿過所述樣本的所述X射線的至少一部分，并輸出指示接收到的X射線的強度的信號；

致動器，所述致動器被配置成在所述樣本的所述第二側上的一定范圍的位置上掃描所述檢測器，以便根據散射角來測量透射的X射線；以及

控制器，所述控制器被耦合以接收由所述檢測器輸出的信號，并響應于所述信號而控制所述致動器，以便相對于所述檢測器在接收到的X射線的強度是強的第二位置處的獲取時間來增加所述檢測器在接收到的X射線的強度是弱的第一位置處的獲取時間。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述檢測器包括具有預定間距的傳感器元件的陣列，并且其中，所述致動器被配置成以比所述預定間距更精細的分辨率使所述檢測器在整個所述范圍的位置上步進。

3.根據權利要求2所述的裝置，其中，所述陣列包括所述傳感器元件的二維矩陣，并且所述致動器被配置成以比沿著所述矩陣的高度軸和寬度軸二者的間距更精細的分辨率使所述檢測器步進。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述樣本包括具有大于10的縱橫比的一個或更多個高縱橫比(HAR)特征，并且其中，所述致動器被配置為在所述范圍的位置上掃描所述檢測器，以便測量從所述HAR特征散射的透射的X射線。

5.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述控制器被配置成控制獲取時間，使得所述檢測器在所述第一位置和所述第二位置處接收預定強度范圍。

6.一種方法，包括：

將樣本保持在支架上；

朝著所述樣本的第一側引導X射線的波束；

從被定位于所述樣本的與所述第一側相對的第二側上的檢測器接收透射穿過所述樣本的所述X射線的至少一部分，并且輸出指示接收到的X射線的強度的信號；

由致動器在所述樣本的第二側上的一定范圍的位置上掃描所述檢測器，以便根據散射角來測量透射的X射線；以及

接收由所述檢測器輸出的信號，以及響應于所述信號而控制所述致動器，以便相對于所述檢測器在接收到的X射線的強度是強的第二位置處的獲取時間來增加所述檢測器在接收到的X射線的強度是弱的第一位置處的獲取時間。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，所述檢測器包括具有預定間距的傳感器元件的陣列，以及其中，掃描所述檢測器包括以比所述預定間距更精細的分辨率使所述檢測器在整個所述范圍的位置上步進。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，所述陣列包括所述傳感器元件的二維矩陣，以及掃描所述檢測器包括以比沿著所述矩陣的高度軸和寬度軸的間距更精細的分辨率使所述檢測器步進。

9.根據權利要求6所述的方法，其中，所述樣本包括具有大于10的縱橫比的一個或更多個高縱橫比(HAR)特征，以及通過在所述范圍的位置上掃描所述檢測器來測量從所述HAR特征散射的透射的X射線。

10.根據權利要求6所述的方法，其中，控制所述致動器包括控制獲取時間，使得所述檢測器在所述第一位置和所述第二位置處接收預定強度范圍。