[發明專利]一種微型真空泵抽氣性能測試裝置及方法

有效

• 申請號: 201910330376.1
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN110005603B
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 劉坤;陳憶閩;楊浩南;于子靖;袁熙;張平燚
• 申請（專利權）人: 東北大學
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 韓國勝

1.一種微型真空泵抽氣性能測試裝置，其特征在于，包括第一密封罩、第二密封罩、第一閥門、第二閥門、密封容器、計量單元和測量單元；其中，

所述第一密封罩與所述第二密封罩連通，所述第二密封罩的出口端用于與待測微型真空泵的進氣口連通；

所述第一閥門設置于所述第一密封罩與所述第二密封罩之間，用于控制所述第一密封罩與所述第二密封罩的連通或斷開；

所述第二閥門設置于所述第二密封罩的出口端，用于控制所述第二密封罩與所述待測微型真空泵的連通或斷開；

所述密封容器的入口端用于與所述待測微型真空泵的出氣口連通，其內盛裝有液體，所述待測微型泵能向所述密封容器內輸送氣體，且所述密封容器的出口端能排出與進入其內的所述氣體相同體積的所述液體；

所述計量單元用于稱量所述密封容器質量；

所述測量單元用于測量所述第一密封罩內的真空度。

2.根據權利要求1所述的微型真空泵抽氣性能測試裝置，其特征在于，

所述第一密封罩的容積大于所述第二密封罩的容積。

3.根據權利要求1所述的微型真空泵抽氣性能測試裝置，其特征在于，還包括：

第三閥門，所述第三閥門設置于所述第一密封罩的入口端，用于控制所述第一密封罩與外界的連通或斷開。

4.根據權利要求3所述的微型真空泵抽氣性能測試裝置，其特征在于，還包括：

第四閥門，所述第四閥門設置于所述密封容器的入口端，用于控制所述密封容器與所述待測微型真空泵的連通或斷開。

5.根據權利要求4所述的微型真空泵抽氣性能測試裝置，其特征在于，還包括：

控制單元，所述控制單元分別與所述第一閥門、所述第二閥門、所述第三閥門、所述第四閥門、所述待測微型真空泵、所述計量單元以及所述測量單元電連接；

上位機，所述上位機與所述控制單元電連接，用于向所述控制單元發出控制指令以及對測試過程中的數據進行計算。

6.根據權利要求1所述的微型真空泵抽氣性能測試裝置，其特征在于，還包括:

集液容器，所述集液容器與所述密封容器的出口端連通，用于收集所述密封容器排出的所述液體。

7.根據權利要求6所述的微型真空泵抽氣性能測試裝置，其特征在于，

所述密封容器的入口端用于通過第一管路與所述待測微型真空泵的出氣口連通；

所述密封容器的出口端通過第二管路與所述集液容器連通；

所述第一管路和所述第二管路的端部均伸入所述密封容器內，且所述第一管路的伸入長度小于所述第二管路的伸入長度。

8.一種微型真空泵抽氣性能測試方法，應用于權利要求1至7中任一項所述的微型真空泵抽氣性能測試裝置，其特征在于，包括：

將待測微型真空泵的進氣口和出氣口依次分別與第二密封罩的出口端和密封容器的入口端連通；

關閉第一閥門，開啟第二閥門和所述待測微型真空泵，所述待測微型真空泵將從所述第二密封罩內的抽取的氣體排入所述密封容器內，使所述密封容器排出與進入其內的氣體相同體積的液體；

計量單元稱取所述密封容器的實時質量，測量單元測量第一密封罩內的實時真空度；

待所述計量單元的示數穩定后，關閉所述第二閥門，開啟所述第一閥門，使所述第一密封罩和所述第二密封罩內氣體達到壓力平衡；

根據所述計量單元的質量值和所述測量單元的真空度值，依次分別按照第一預設公式和第二預設公式，計算所述待測微型真空泵的抽氣速度和極限壓強。

9.根據權利要求8所述的測試方法，其特征在于，所述微型真空泵抽氣性能測試裝置還包括第三閥門，所述第三閥門設置于所述第一密封罩的入口端；在所述根據所述計量單元的重量值和所述測量單元的真空度值，依次分別按照第一預設公式和第二預設公式，計算所述待測微型真空泵的抽氣速度和極限壓強之后，所述測試方法還包括：

開啟所述第三閥門，使所述微型真空泵抽氣性能測試裝置恢復至大氣壓狀態。