[發(fā)明專利]板處理裝置及板處理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910329477.7
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN110453221B
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 礒圭二
• 申請（專利權(quán)）人: 住友重機(jī)械工業(yè)株式會社
• 主分類號: C23F1/02
• 分類號: C23F1/02;B05C5/02;B05C9/12;B41J2/01;B41J2/435
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發(fā)明提供一種針對被加工板的兩個面能夠彼此對位后進(jìn)行處理的板處理裝置。打標(biāo)部對支承于工作臺上的被加工板的朝向工作臺的面賦予標(biāo)記。處理部對支承于工作臺上的被加工板的朝向與工作臺相反一側(cè)的面進(jìn)行處理，并且對處理結(jié)果與打標(biāo)部賦予給朝向工作臺的面上的標(biāo)記的位置建立對應(yīng)關(guān)聯(lián)。而且，處理部檢測形成于朝向與工作臺相反一側(cè)的面上的標(biāo)記，并基于檢測到的標(biāo)記的位置對朝向與工作臺相反一側(cè)的面進(jìn)行處理。

本申請主張基于2018年5月8日申請的日本專利申請第2018-090122號的優(yōu)先權(quán)。該日本申請的全部內(nèi)容通過參考援用于本說明書中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種板處理裝置及板處理方法。

背景技術(shù)

已知有一種對金屬板實(shí)施蝕刻加工從而在金屬板上形成開口的技術(shù)。以下，對現(xiàn)有的蝕刻加工的工法進(jìn)行說明。

在不銹鋼或銅等金屬板的兩個面粘貼干膜抗蝕劑。經(jīng)由光掩模使干膜抗蝕劑感光之后，通過顯影留存抗蝕劑圖案。分別留存于金屬板的兩個面上的抗蝕劑圖案相同，且彼此對位。將所留存的抗蝕劑圖案作為蝕刻掩模，從兩個面蝕刻金屬板。蝕刻后剝離抗蝕劑圖案。

在現(xiàn)有的蝕刻加工中，在蝕刻掩模的形成中使用了光刻工法。在該工法中，需要按照每一個蝕刻圖案制作光掩模，因此難以實(shí)現(xiàn)低成本化。并且，光掩模的維持管理也需要花費(fèi)時間和勞力。而且，由于需要制作光掩模，因此難以縮短交付期。

為了使分別留存于金屬板的兩個面上的抗蝕劑圖案彼此對位，利用金屬板的邊緣。例如，在下述專利文獻(xiàn)1中公開了一種拍攝矩形基板的角部并進(jìn)行圖像處理并將角部的位置作為基準(zhǔn)進(jìn)行網(wǎng)版印刷的技術(shù)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-205286號公報

在被加工板的端面傾斜的情況下，基于從前表面?zhèn)扰臄z的角部的圖像檢測到的頂點(diǎn)與基于從背面?zhèn)扰臄z的角部的圖像檢測到的頂點(diǎn)不一致。此時，若以頂點(diǎn)的位置作為基準(zhǔn)而形成抗蝕劑圖案，則會導(dǎo)致形成于前表面?zhèn)鹊目刮g劑圖案相對于形成于背面?zhèn)鹊目刮g劑圖案產(chǎn)生偏移。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種針對被加工板的兩個面能夠彼此對位后進(jìn)行處理的板處理裝置及板處理方法。

根據(jù)本發(fā)明的一種觀點(diǎn)，提供一種板處理裝置，其具有：

打標(biāo)部，對支承于工作臺上的被加工板的朝向該工作臺的面賦予標(biāo)記；及

處理部，對支承于所述工作臺上的被加工板的朝向與所述工作臺相反一側(cè)的面進(jìn)行處理，并且將處理結(jié)果與所述打標(biāo)部賦予給朝向該工作臺的面上的標(biāo)記的位置建立對應(yīng)關(guān)聯(lián)，而且，檢測出形成于朝向與所述工作臺相反一側(cè)的面上的標(biāo)記，并基于檢測到的標(biāo)記的位置對朝向與所述工作臺相反一側(cè)的面進(jìn)行處理。

根據(jù)本發(fā)明的另一種觀點(diǎn)，提供一種板處理方法，其具有如下工序：

在被加工板的第1面上形成標(biāo)記的工序；

基于形成于所述第1面上的所述標(biāo)記的位置，對所述被加工板的與所述第1面相反一側(cè)的第2面進(jìn)行處理的工序；及

在所述第1面上形成所述標(biāo)記之后，基于所述標(biāo)記的位置，對所述被加工板的所述第1面進(jìn)行處理的工序。

通過形成于被加工板的一個面上的標(biāo)記的位置，能夠使一個面的處理與另一個面的處理對位。

附圖說明

圖1是基于實(shí)施例的板處理裝置的概略圖。

圖2A是支承有被加工板的工作臺的俯視圖，圖2B是圖2A的單點(diǎn)劃線2B-2B處的剖視圖。

圖3A及圖3B是打標(biāo)部的概略剖視圖，圖3C及圖3D分別為形成有標(biāo)記的狀態(tài)的被加工板的剖視圖及仰視圖。

圖4是基于實(shí)施例的板處理方法的流程圖。