[發(fā)明專(zhuān)利]一種基于銅摻雜硫化鎘納米線的光電傳感器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910328691.0
• 申請(qǐng)日: 2019-04-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110047973B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范佳旭
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 范佳旭
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/02;H01L31/0296;H01L31/09;B82Y30/00;B82Y40/00;C01G11/02
• 代理公司: 北京航智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11668
• 代理人: 黃川;史繼穎

1.一種基于銅摻雜硫化鎘納米線的光電傳感器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)以氧化鋁陶瓷片為基底，進(jìn)行清洗吹干后，采用鏤空掩膜遮擋的方法，在襯底表面利用電子束蒸發(fā)方法沉積若干“十”字形Au/Ti薄膜陣列，金屬薄膜厚度分別為Au：20nm，Ti：100nm；

(2)在襯底的Au/Ti膜上沿設(shè)定的方波狀路線燒蝕劃刻出寬度4μm的絕緣溝槽，制備兩排指叉狀電極；

(3)采用氣相生長(zhǎng)設(shè)備利用Au作為催化劑，通過(guò)高溫氣相生長(zhǎng)法制備Cu摻雜的CdS納米線，所用的氣相生長(zhǎng)設(shè)備包括管式爐，管式爐設(shè)有多段垂直爐壁，將爐體內(nèi)空間分隔為四個(gè)隔斷，每個(gè)隔斷分別設(shè)有獨(dú)立的加熱體，加熱體由測(cè)溫與控溫機(jī)構(gòu)控制，氣相生長(zhǎng)管穿過(guò)爐體，底部一側(cè)底部放置有陶瓷舟，氣相生長(zhǎng)管另一側(cè)設(shè)有梯形突起的平臺(tái)，平臺(tái)下方連接有冷卻部，將襯底放置于突起平臺(tái)上，將硫化鎘和硫化銅粉體研磨混合后裝入陶瓷舟中，用機(jī)械真空泵抽氣，并通入氮?dú)庖耘懦龤埩艨諝猓缓蠓謩e控制四段加熱體開(kāi)始加熱，以15℃/min將陶瓷舟所在位置的第一隔斷升溫，同時(shí)分別以13℃/min、11℃/min、10℃/min升溫速度使第二、三、四隔斷的溫度升高，各隔斷溫度分別達(dá)到750℃、690℃、630℃、580℃，隨后開(kāi)啟冷卻部對(duì)平臺(tái)進(jìn)行冷卻，使平臺(tái)上部的溫度降至550℃，以150SCCM的流量送入氮?dú)猓⑹拐婵斩缺３衷?0Torr，維持40min，生長(zhǎng)Cu摻雜的CdS納米線，自然降溫至室溫；

(4)將襯底取出、切割分離各“十”字形單元；在Au/Ti膜上焊接金屬導(dǎo)線，得到銅摻雜的CdS納米線光電傳感器搭接電路。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于銅摻雜硫化鎘納米線的光電傳感器的制備方法，其特征在于，摻雜入CdS中的Cu原子百分比大于0，且小于等于7％，可調(diào)控。

3.如權(quán)利要求1或2所述的一種基于銅摻雜硫化鎘納米線的光電傳感器的制備方法，其特征在于，步驟(2)中單電極寬度10μm，長(zhǎng)度30μm。