[發(fā)明專利]一種具有緩沖和加固功能的芯片拾取設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910326863.0 | 申請(qǐng)日: | 2019-04-23 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110098142B | 公開(公告)日: | 2021-09-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 高建文 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中義(杭州)醫(yī)藥科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 蘇州國(guó)誠(chéng)專利代理有限公司 32293 | 代理人: | 杜丹盛 |
| 地址: | 311200 浙江省杭州市蕭山區(qū)*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 具有 緩沖 加固 功能 芯片 拾取 設(shè)備 | ||
1.一種具有緩沖和加固功能的芯片拾取設(shè)備,包括真空泵(10)和吸嘴(19),其特征在于,還包括緩沖機(jī)構(gòu)和加固機(jī)構(gòu),所述真空泵(10)通過(guò)緩沖機(jī)構(gòu)與吸嘴(19)連接,所述加固機(jī)構(gòu)設(shè)置在緩沖機(jī)構(gòu)上;
所述緩沖機(jī)構(gòu)包括第一吸管(11)、第二吸管(15)、連接軟管(14)和至少兩個(gè)緩沖組件,所述第一吸管(11)與第二吸管(15)同軸設(shè)置,所述第一吸管(11)與第二吸管(15)的相互靠近的一端分別與連接軟管(14)的兩端連接,所述第一吸管(11)的遠(yuǎn)離第二吸管(15)的一端與真空泵(10)連接,所述第二吸管(15)的遠(yuǎn)離第一吸管(11)的一端與吸嘴(19)連接,所述第一吸管(11)與第二吸管(15)的相互靠近的一端通過(guò)各連接組件連接;
所述緩沖組件包括第二固定塊(8)、第一固定塊(7)、連接桿(12)、彈簧(13)和限位板(9),所述第二固定塊(8)設(shè)置在第一吸管(11)的靠近連接軟管(14)的一端的一側(cè),所述第一固定塊(7)設(shè)置在第二吸管(15)的靠近連接軟管(14)的一端的靠近第二固定塊(8)的一側(cè),所述連接桿(12)與第一吸管(11)的軸線平行,所述連接桿(12)的一端與第一固定塊(7)固定連接,所述第二固定塊(8)的內(nèi)部設(shè)有連接孔,所述連接桿(12)的另一端穿過(guò)第二固定塊(8),所述第二固定塊(8)與連接桿(12)滑動(dòng)連接,所述限位板(9)與連接桿(12)的另一端固定連接,所述彈簧(13)套設(shè)在連接桿(12)上,所述第一固定塊(7)通過(guò)彈簧(13)與第二固定塊(8)固定連接,所述彈簧(13)處于壓縮狀態(tài);
所述加固機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)組件和兩個(gè)固定組件,兩個(gè)固定組件分別設(shè)置在第二吸管(15)的靠近吸嘴(19)的一端的兩側(cè),兩個(gè)固定組件關(guān)于第二吸管(15)的軸線對(duì)稱設(shè)置,所述驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置在第二吸管(15)上,所述驅(qū)動(dòng)組件與兩個(gè)固定組件均連接;
所述固定組件包括第一傳動(dòng)桿(16)、第二傳動(dòng)桿(18)和支撐桿(17),所述支撐桿(17)設(shè)置在第二吸管(15)的靠近吸嘴(19)的一端的一側(cè),所述第二傳動(dòng)桿(18)與第二吸管(15)的軸線平行,所述第二傳動(dòng)桿(18)的中部與支撐桿(17)的遠(yuǎn)離第二吸管(15)的一端鉸接,所述第二傳動(dòng)桿(18)的靠近吸嘴(19)的一端抵靠在吸嘴(19)的一側(cè),所述第一傳動(dòng)桿(16)的一端與第二傳動(dòng)桿(18)的遠(yuǎn)離吸嘴(19)的一端鉸接,所述第一傳動(dòng)桿(16)的另一端與驅(qū)動(dòng)組件連接。
2.如權(quán)利要求1所述的具有緩沖和加固功能的芯片拾取設(shè)備,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)組件包括電機(jī)(6)、絲桿(2)、驅(qū)動(dòng)塊(3)和兩個(gè)軸承(5),所述絲桿(2)與第二吸管(15)的軸線平行,所述絲桿(2)的兩端均通過(guò)軸承(5)與第二吸管(15)連接,所述電機(jī)(6)固定在第二吸管(15)上,所述電機(jī)(6)與絲桿(2)傳動(dòng)桿連接,所述驅(qū)動(dòng)塊(3)的內(nèi)部設(shè)有安裝孔,所述絲桿(2)穿過(guò)驅(qū)動(dòng)塊(3),所述絲桿(2)與驅(qū)動(dòng)塊(3)螺紋連接,所述第一傳動(dòng)桿(16)的遠(yuǎn)離第二傳動(dòng)桿(18)的一端與驅(qū)動(dòng)塊(3)鉸接。
3.如權(quán)利要求2所述的具有緩沖和加固功能的芯片拾取設(shè)備,其特征在于,所述絲桿(2)的兩側(cè)均設(shè)有滑桿(4),所述滑桿(4)與絲桿(2)平行,所述滑桿(4)的兩端分別與兩個(gè)軸承(5)固定連接,所述滑桿(4)穿過(guò)驅(qū)動(dòng)塊(3),所述驅(qū)動(dòng)塊(3)與滑桿(4)滑動(dòng)連接。
4.如權(quán)利要求1所述的具有緩沖和加固功能的芯片拾取設(shè)備,其特征在于,所述第二傳動(dòng)桿(18)的遠(yuǎn)離真空泵(10)的一端的靠近吸嘴(19)的一側(cè)設(shè)有防滑塊(1)。
5.如權(quán)利要求1所述的具有緩沖和加固功能的芯片拾取設(shè)備,其特征在于,所述吸嘴(19)的制作材料為橡膠。
6.如權(quán)利要求2所述的具有緩沖和加固功能的芯片拾取設(shè)備,其特征在于,所述電機(jī)(6)為伺服電機(jī)。
7.如權(quán)利要求1所述的具有緩沖和加固功能的芯片拾取設(shè)備,其特征在于,所述第一吸管(11)和第二吸管(15)上均涂有防腐鍍鋅層。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





