[發(fā)明專利]一種用于晶圓生產(chǎn)離子注入的控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910326226.3
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN110223902B
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 祁金發(fā)
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽新大陸特種涂料有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01J37/30
• 分類號: H01J37/30;H01J37/317;H01L21/67
• 代理公司: 廣州天河萬研知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44418
• 代理人: 劉強(qiáng);陳軒

本發(fā)明公開了一種用于晶圓生產(chǎn)離子注入的控制裝置，其結(jié)構(gòu)包括活動道、銜接操作頭、離子校對輸出口、護(hù)環(huán)，活動道安裝于銜接操作頭內(nèi)部，離子校對輸出口包括校對口桿、直射道、完整卡扣、靈活壓球、整體囊、隔層、定向頂桿，當(dāng)離子注入口受到損壞時，其前者將會掉落，后者主桿將會往下滑動，由空格受力將其回力鏢撐開，其滑潤層輔助其邊角往兩側(cè)滑動，當(dāng)回力鏢被撐開的同時，折彎限向桿將會被擠壓，其卡勾與固定柱之間的定位，其頂殼將對整體囊進(jìn)行推動，整體囊內(nèi)部的外壓弧將受到力，使其能夠頂在新的主桿表面，對其進(jìn)行固定，能夠在離子校對直射的口受到損壞時，及時的補(bǔ)上備用，以防操作的過程中有所失誤，這次操作結(jié)束后在對其進(jìn)行檢修。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，更具體地說，尤其是涉及到一種用于晶圓生產(chǎn)離子注入的控制裝置。

背景技術(shù)

晶圓生產(chǎn)的過程中有一步程序是需要將離子注入，其離子是通過內(nèi)部加速后，位于垂直方向通過輸出口對照相對應(yīng)的位置，直射于晶圓表面上，在持續(xù)下序的變化，其離子在加速直射的過程中會產(chǎn)生一定的熱量。

基于上述本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的晶圓生產(chǎn)離子注入控制裝置主要存在以下幾點(diǎn)不足，比如：

由于離子注入直射存在有一定的熱度，當(dāng)長時間通過聚焦的輸出口快速輸出時，輸出口會有所損壞，從而容易造成離子輸出時分散，難以直射到相對應(yīng)的位置。

因此需要提出一種用于晶圓生產(chǎn)離子注入的控制裝置。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)由于離子注入直射存在有一定的熱度，當(dāng)長時間通過聚焦的輸出口快速輸出時，輸出口會有所損壞，從而容易造成離子輸出時分散，難以直射到相對應(yīng)的位置的問題。

本發(fā)明一種用于晶圓生產(chǎn)離子注入的控制裝置的目的與功效，由以下具體技術(shù)手段所達(dá)成：

其結(jié)構(gòu)包括活動道、銜接操作頭、離子校對輸出口、護(hù)環(huán)。

所述活動道安裝于銜接操作頭內(nèi)部，所述銜接操作頭底端與離子校對輸出口頂端相連接，所述護(hù)環(huán)嵌套于離子校對輸出口外表面且位于同一軸心上。

所述離子校對輸出口包括校對口桿、直射道、完整卡扣、靈活壓球、整體囊、隔層、定向頂桿，所述校對口桿位于直射道左右兩側(cè)，所述完整卡扣與隔層為一體化結(jié)構(gòu)，所述靈活壓球位于整體囊內(nèi)部，所述定向頂桿設(shè)有兩個。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述校對口桿包括重力傾向塊、順滑層、卡位槽、耐磨底、緩沖角、主桿，所述重力傾向塊安裝于主桿內(nèi)部，所述順滑層與主桿為一體化結(jié)構(gòu)，所述卡位槽安裝于緩沖角與耐磨底之間，所述重力傾向塊呈水滴狀結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述緩沖角包括滑潤層、緩沖球、回折條、回力鏢、空格，所述滑潤層設(shè)有兩個，所述緩沖球與回力鏢相連接，所述回折條位于回力鏢外表面，所述回折條安裝于空格內(nèi)部，所述緩沖球?yàn)榍蝮w結(jié)構(gòu)，所述回折條設(shè)有兩個。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述回折條包括軟條、耐壓夾角、折彎限向桿，所述折彎限向桿安裝于軟條內(nèi)部，所述耐壓夾角嵌入于軟條內(nèi)部，所述折彎限向桿設(shè)有兩個。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述定向頂桿包括頂殼、穩(wěn)定三角、固定柱、卡勾、穩(wěn)固桿，所述頂殼與穩(wěn)固桿相連接，所述穩(wěn)定三角嵌入于穩(wěn)固桿內(nèi)部，所述卡勾卡于固定柱內(nèi)部，所述固定柱呈圓柱體結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述穩(wěn)定三角包括三角條、頂角、實(shí)芯，所述實(shí)芯嵌入于三角條內(nèi)部，所述三角條與頂角相連接，所述三角條設(shè)有三個，所述實(shí)芯為圓柱體結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述靈活壓球包括中撐層、外壓弧、內(nèi)囊、限位角，所述限位角安裝于中撐層內(nèi)壁，所述內(nèi)囊位于限位角內(nèi)部，所述中撐層遠(yuǎn)離限位角的一端與外壓弧相連接，所述限位角呈圓形均勻分布，所述外壓弧為半弧形結(jié)構(gòu)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下有益效果：