[發明專利]工程系統、用于其的切換模塊及控制所述工程系統的方法

在審

• 申請號: 201910321917.4
• 申請日: 2019-04-22
• 公開（公告）號: CN110857922A
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 李淳鐘;李東錫;尹碩敏;樸真奭;申原燮;柳林水;樸健祐
• 申請（專利權）人: 塞米西斯科株式會社
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G02B27/10;H01L21/67
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 延美花;臧建明

公開能夠利用切換模塊及一個分光器分析多個位置的腔體內部的光的工程系統、用于其的切換模塊及控制所述工程系統的方法。所述切換模塊包括多個連接部、切換部及驅動部。在此，所述多個連接部分別與第一光線路相連接，所述切換部與第二光線路相連接，所述切換部排列成光路徑與所述多個連接部中的一個的光路徑一致，所述切換部隨著所述驅動部的驅動進行移動而成為光路徑與另一連接部的光路徑一致，通過連接于光路徑與所述切換部的光路徑一致的連接部的第一光線路輸入的光傳遞到與所述切換部連接的第二光線路。本發明能夠對工程進行準確的分析且顯著降低所述工程系統的費用。

技術領域

本發明涉及半導體或顯示器等的工程系統、用于其的切換模塊及控制所述工程系統的方法。

背景技術

圖1是示出現有半導體系統的OES結果值的附圖，圖2是示出一般腔體的結構的附圖，圖3是示出對應于分光器變更的OES結果值的附圖。

半導體系統為了監控沉積工程等而通過分光器接收在腔體內發生的光并進行分析。在此如圖2所示，腔體的多個位置形成有監控部以用于管理員能夠從多個位置觀察腔體內部。

在這種半導體系統的結構中，一個光線路從腔體的一個監控部連接到分光器。因此，只有來自腔體的一個位置的光輸入到所述分光器。

然而如圖1所示，OES結果值因腔體內部的各位置而異，因此在這種半導體系統的結構下無法準確地分析沉積工程等。

雖然也可以在各監控部連接分光器，但該情況下具有半導體系統的費用顯著上升的問題。并且如圖3所示，即使是相同的光也會因分光器而發生不同的OES結果值，因此難免分析準確度低下。

并且，需要對多個腔體的工程進行分析的情況下，需要具備與各腔體200連接的多個分光器。其結果，所述半導體系統的費用顯著上升。

發明內容

技術問題

本發明的目的是提供一種能夠利用切換模塊及一個分光器分析多個位置的腔體內部的光的工程系統及用于其的切換模塊。

本發明的目的是提供一種能夠利用切換模塊及一個分光器分析在多個腔體發生的光的工程系統及用于其的切換模塊。

本發明的目的是提供一種能夠利用切換模塊及一個分光器分析多個位置的腔體內部的光的控制半導體系統的方法。

技術方案

為了達成上述目的，本發明的一實施例的切換模塊包括：多個連接機構、切換部及驅動部。在此，所述多個連接機構分別與第一光線路相連接，所述切換部與第二光線路相連接，所述切換部排列成光路徑與所述多個連接機構中的一個的光路徑一致，所述切換部隨著所述驅動部的驅動而移動成光路徑與另一連接機構的光路徑一致，通過連接于光路徑與所述切換部的光路徑一致的連接機構的第一光線路輸入的光傳遞到與所述切換部連接的第二光線路。

本發明的另一實施例的切換模塊包括：外殼；排列于所述外殼的內部的驅動部；以及切換部，所述外殼的一側面形成有多個連接機構。在此，所述多個連接機構與相應的第一光線路相連接，所述切換部與第二光線路相連接，所述切換部排列成光路徑與所述連接機構中的一個的光路徑一致，所述切換部隨著所述驅動部的驅動而曲線運動以排列成光路徑與另一連接機構的光路徑一致，通過插入到光路徑與所述切換部的光路徑一致的連接機構的第一光線路輸入的光傳遞到與所述切換部連接的第二光線路。

本發明的一實施例的工程系統包括：腔體、切換模塊及分光器。在此，所述切換模塊與所述腔體的多個位置通過多個第一光線路相連接且通過第二光線路與所述分光器相連接，所述切換模塊選擇所述多個第一光線路中的一個，選擇的所述第一光線路與所述第二光線路的光路徑一致，從所述腔體的內部發光的光通過選擇的所述第一光線路及所述第二光線路傳遞到所述分光器。