[發明專利]一種FOUP開啟器

有效

• 申請號: 201910321851.9
• 申請日: 2019-04-22
• 公開（公告）號: CN109928347B
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 吳芳
• 申請（專利權）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號: B67B7/00
• 分類號: B67B7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種FOUP開啟器，包括橫板，所述橫板的側壁上開設有兩個放置槽，每個所述放置槽內均設有握把，且每個握把均延伸至橫板的外側，每個所述握把內均開設于凹槽，每個所述凹槽內均轉動連接有鑰匙，每個所述握把內均還開設有控制槽，每個所述控制槽內均設有控制裝置，且每個控制裝置均相對應的鑰匙相互匹配，所述橫板內對稱開設有兩個線槽，每個所述握把的側壁上均固定連接有連接塊，且兩個連接塊相對設置，每個所述線槽內均設有繞線裝置，每個所述繞線裝置均通過連接線與連接塊連接。優點在于：本發明，用來開啟FOUP的鑰匙相互連接在一起，不會輕易的脫離而丟失，在使用的時候，操作的人員可以更加方便的對鑰匙進行操作使用。

技術領域

本發明涉及半導體行業wafer加工技術領域，尤其涉及一種FOUP開啟器。

背景技術

前開式晶圓傳送盒FOUP。這是半導體制程中被使用來保護、運送、并儲存晶圓的一種容器，其內部可以容納25片的300mm晶圓，而其主要的組成元件為一個能容納25片晶圓的前開式容器并有一個前開式的門框專司容器的開閉，是一種專屬于12吋(300mm)晶圓廠內的自動化傳送系統重要的傳載容器。

FOUP在使用的時候需要開啟器對其進行打開與關閉，由于開啟器提及較小，在使用時不能方便的進行使用，而且容易造成丟失，使得FOUP不能進行打開與關閉。

為此，我們提出一種FOUP開啟器。

實用新型內容

本發明的目的是為了解決現有技術中FOUP在使用的時候需要開啟器對其進行打開與關閉，由于開啟器提及較小，在使用時不能方便的進行使用，而且容易造成丟失，使得FOUP不能進行打開與關閉問題，而提出的一種FOUP開啟器。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

一種FOUP開啟器，包括橫板，所述橫板的側壁上開設有兩個放置槽，每個所述放置槽內均設有握把，且每個握把均延伸至橫板的外側，每個所述握把內均開設于凹槽，每個所述凹槽內均轉動連接有鑰匙，每個所述握把內均還開設有控制槽，每個所述控制槽內均設有控制裝置，且每個控制裝置均相對應的鑰匙相互匹配，所述橫板內對稱開設有兩個線槽，每個所述握把的側壁上均固定連接有連接塊，且兩個連接塊相對設置，每個所述線槽內均設有繞線裝置，每個所述繞線裝置均通過連接線與連接塊連接；

每個所述控制裝置包括控制槽內設置的壓板，每個所述控制槽均通過連接槽與相對應的凹槽連通，每個所述連接槽內均轉動連接有連接有連接桿，且壓板固定在連接桿上，位于控制槽內的所述壓板上端對稱固定連接有兩個第一彈簧，且兩個第一彈簧的上端均固定在控制槽內頂壁上，位于凹槽內的所述壓板下端固定連接有卡板，且卡板位于鑰匙的一側；所述凹槽內轉動連接有驅動桿，且鑰匙套設在驅動桿上并與驅動桿固定連接于，所述驅動桿上對稱套設有兩個第二彈簧，所述驅動桿上還對稱固定套設有兩個安裝板，且兩個第二彈簧的一端分別固定在相對應的安裝板上，兩個所述第二彈簧的另一端均固定在凹槽的內側壁上；每個所述繞線裝置包括每個線槽內轉動連接的轉軸，每個所述轉軸上均固定套設有線輪，且每個連接線分別纏繞在相對應的線輪上，每個所述轉軸上均對稱套設有第三彈簧，且每個轉軸上的兩個第三彈簧分別設置在相對應的線輪兩端，每個所述第三彈簧的一端分別固定在相對應的線輪上，且每個第三彈簧的另一端均固定在相對應的線槽內側壁上；每個所述壓板的上端均固定連接有推桿，每個所述握把上均開設有通孔，且每個推桿分別位于通過相對應的通孔后并延伸至握把的外側；每個所述放置槽的內側壁上均對稱固定連接有兩個橡膠塊，每個所述握把位于放置槽內的一端側壁上均對稱開設有兩個卡槽，且每個橡膠塊分別位于相對應的卡槽內并與卡槽卡合；每個所述握把的側壁上均開設有條形槽，且每個條形槽均與相對應的凹槽連通，每個所述鑰匙的側壁上均固定連接有推塊，且每個推塊均位于相對應的條形槽內。

與現有的技術相比，本發明優點在于：