[發(fā)明專利]薄膜太陽能電池除氧工藝

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910318423.0
• 申請日: 2019-04-19
• 公開（公告）號: CN110212055A
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 來雅赟
• 申請（專利權(quán)）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0749;H01L31/0392
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• 代理人: 暫無信息

1.一種薄膜太陽能電池除氧工藝，所述薄膜太陽能電池包括依次層疊設(shè)置的襯底、光吸收層、堿金屬層和緩沖層，所述堿金屬層包括堿金屬含氧鹽，所述薄膜太陽能電池除氧工藝應(yīng)用于對所述堿金屬含氧鹽中氧的去除，其特征在于，所述薄膜太陽能電池除氧工藝包括：

將未形成所述緩沖層之前且已形成有所述堿金屬層的襯底置于除氧劑中浸泡，去除所述堿金屬含氧鹽中的氧；其中，所述除氧劑包括可溶性堿性溶液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述可溶性堿性溶液選自以下溶液中的一種或多種：弱堿溶液、除Na之外的堿溶液、除Na之外的強(qiáng)堿弱酸鹽溶液。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述可溶性堿性溶液選自氨水、氫氧化鉀溶液、亞硫酸鉀溶液中的一種或多種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述可溶性堿性溶液的濃度小于等于采用化學(xué)水浴沉積方法形成所述緩沖層的堿性溶液濃度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述可溶性堿性溶液選擇氨水，所述氨水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為6％～25％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述可溶性堿性溶液選擇氫氧化鉀溶液，所述氫氧化鉀溶液的濃度小于1mol/L。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述將未形成所述緩沖層之前且已形成有所述堿金屬層的襯底置于除氧劑中浸泡的步驟中，所述除氧劑的溫度維持在18℃～90℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述將未形成所述緩沖層之前且已形成有所述堿金屬層的襯底置于除氧劑中浸泡的步驟中，浸泡時(shí)長為1min～20min。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述薄膜太陽能電池除氧工藝還包括：

將在除氧劑中浸泡并去除堿金屬含氧鹽中氧的襯底取出，洗滌，以除去所述襯底表面殘余除氧劑。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的薄膜太陽能電池除氧工藝，其特征在于，所述洗滌液選擇采用化學(xué)水浴沉積方法形成所述緩沖層的堿性溶液。