[發明專利]一種碳化硅片快速加熱退火裝置

在審

• 申請號: 201910317907.3
• 申請日: 2019-04-19
• 公開（公告）號: CN110047783A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 程遠貴
• 申請（專利權）人: 湖南新銳微電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/324
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 伍傳松

1.一種碳化硅片快速加熱退火裝置，其特征在于，包括：依次連接的冷卻室(1)、預熱室(2)、加熱室(3)，所述冷卻室(1)位于預熱室(2)的一側，所述加熱室(3)位于預熱室(2)的上方，所述冷卻室(1)、預熱室(2)內皆設置有可旋轉的硅片托盤(4)以用于將碳化硅片從腔室的一側轉移到另一側；所述冷卻室(1)、預熱室(2)之間設置有機械手臂(5)，以用于將碳化硅片從硅片托盤(4)上夾取到相鄰腔室的硅片托盤(4)上；所述預熱室(2)的硅片托盤(4)底部設置有升降架(6)，以用于使碳化硅片在預熱室(2)和加熱室(3)之間垂直移動。

2.根據權利要求1述的碳化硅片快速加熱退火裝置，其特征在于：所述硅片托盤(4)上設置有兩個互相對稱的硅片槽(41)，所述硅片托盤(4)底部設置有旋轉軸(42)以用于通過旋轉使兩個硅片槽(41)的位置互換。

3.根據權利要求2述的碳化硅片快速加熱退火裝置，其特征在于：所述硅片槽(41)中間開設有通孔(43)，以用于使升降架(6)穿過并頂起碳化硅片。

4.根據權利要求2所述的碳化硅片快速加熱退火裝置，其特征在于：所述升降架(6)位于預熱室(2)的硅片托盤(4)遠離冷卻室(1)的硅片槽(41)下方。

5.根據權利要求1所述的碳化硅片快速加熱退火裝置，其特征在于：還包括與冷卻室(1)相連的進出料室(7)，所述進出料室(7)與冷卻室(1)遠離預熱室(2)的一側相連。

6.根據權利要求5所述的碳化硅片快速加熱退火裝置，其特征在于：所述進出料室(7)內設置有可旋轉的硅片托盤(4)以用于將碳化硅片從腔室的一側轉移到另一側。

7.根據權利要求6所述的碳化硅片快速加熱退火裝置，其特征在于：所述進出料室(7)、冷卻室(1)之間設置有機械手臂(5)，以用于將碳化硅片從硅片托盤(4)上夾取到相鄰腔室的硅片托盤(4)上。

8.根據權利要求6所述的碳化硅片快速加熱退火裝置，其特征在于：所述進出料室(7)、冷卻室(1)、預熱室(2)的硅片托盤(4)皆位于同一水平面。