[發(fā)明專利]一種派瑞林彩色鍍膜工藝及鍍膜裝置

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910317449.3
• 申請日: 2019-04-19
• 公開（公告）號: CN109881178A
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張衛(wèi)興;張振興;莊麗葉;張薺文
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇可潤光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448
• 代理公司: 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

本發(fā)明公開了一種派瑞林彩色鍍膜工藝及鍍膜裝置，屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，派瑞林彩色鍍膜工藝的蒸發(fā)采用倉外染料蒸發(fā)系統(tǒng)和倉內(nèi)染料蒸發(fā)系統(tǒng)，派瑞林彩色鍍膜工藝解決了現(xiàn)有技術(shù)加工的鍍膜材料不易檢測的問題，同時成膜特點顯現(xiàn)，彩色品種多樣化，將彩色染料粉料升華均勻沉積在加工件上，可以清楚而直觀的進(jìn)行檢測，該工藝簡單、實用、成本低，實用性強(qiáng)，本工藝對各種加工產(chǎn)品均有明顯彩色效果，同時具備派瑞林自身的保護(hù)效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種鍍膜工藝及鍍膜裝置，特別是涉及一種派瑞林彩色鍍膜工藝及鍍膜裝置，屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

化學(xué)氣相沉積法是傳統(tǒng)的制備薄膜的技術(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中多種材料的沉積，包括大范圍的絕緣材料、大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，其原理是利用氣態(tài)的先驅(qū)反應(yīng)物，通過原子、分子間化學(xué)反應(yīng)，使得氣態(tài)前驅(qū)體中的某些成分分解或者相互之間反應(yīng)，而在基體上沉積形成薄膜。

現(xiàn)有的派瑞林鍍膜工藝為派瑞林材料在蒸發(fā)室加熱氣化后，在真空壓差的作用下經(jīng)過裂解室向鍍膜室運動，并在裂解室內(nèi)發(fā)生裂解反應(yīng)，裂解后氣體經(jīng)過管道進(jìn)入鍍膜室后發(fā)生聚合反應(yīng)形成防水、防腐膜層，但現(xiàn)有技術(shù)加工的鍍膜材料無法用肉眼確認(rèn)鍍膜的包蓋類型，為了保證客戶在第一時間內(nèi)對鍍膜加工后的產(chǎn)品可靠性、直觀的檢測加工后的效果，而發(fā)明此項工藝技術(shù)及裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的是為了解決派瑞林鍍膜后無法用肉眼直接觀察加工后的產(chǎn)品、鍍膜材料不易檢測的問題，而提供一種派瑞林彩色鍍膜工藝及鍍膜裝置。

本發(fā)明的目的可以通過采用如下技術(shù)方案達(dá)到：

一種派瑞林彩色鍍膜工藝，包括如下步驟：

步驟1：將彩色染料粉料裝入升華杯中，將密封環(huán)密封，將加熱環(huán)固定在升華杯上，將升華杯通過連接環(huán)和真空沉積室連接，并固定，將真空沉積室和加熱環(huán)連接到加熱控制器上；

步驟2：將真空沉積室密封并通過真空系統(tǒng)抽至真空；

步驟3：利用冷卻控制器將真空沉積室區(qū)域溫度控制在20～80℃之間；

步驟4：將派瑞林材料放入蒸發(fā)室加熱氣化并經(jīng)裂解室裂解反應(yīng)后形成氣體，氣體進(jìn)入真空沉積室；

步驟5：鍍膜進(jìn)行到一定時間后，打開升華杯加熱開關(guān)，并設(shè)定加熱溫度在160-440℃之間；

步驟6：到達(dá)設(shè)定溫度后保持恒溫10-60min，使彩色染料粉料在升華杯內(nèi)深度蒸發(fā)，在真空作用下，升華后的升華染料被吸入真空沉積室；

步驟7：升華染料加熱到設(shè)定時間后，關(guān)閉升華染料加熱系統(tǒng)，繼續(xù)鍍膜到正常結(jié)束；

步驟8：完成后，依次關(guān)閉加熱電源，靜置30min后，打開真空沉積室取出加工件；

步驟9：將加工件放置在檢測臺上，進(jìn)行人工檢測。

優(yōu)選的，蒸發(fā)采用倉外染料蒸發(fā)系統(tǒng)和倉內(nèi)染料蒸發(fā)系統(tǒng)，倉外染料蒸發(fā)系統(tǒng)的操作工藝，包括如下步驟：

步驟11：在蒸發(fā)初期，先按派瑞林鍍膜工藝要求進(jìn)行升華、裂解、沉積，同時開啟升華杯的前加熱環(huán)，并設(shè)定160℃防止派瑞林膜進(jìn)入升華杯內(nèi)，造成升華染料升華失敗；

步驟12：在步驟11進(jìn)行一定時間后，開啟升華杯的中加熱環(huán)、加熱環(huán)、加熱片，并分別設(shè)定加熱溫度160℃、260℃、200℃，使其升華杯內(nèi)染料逐步升華；

步驟13：在派瑞林裂解成單分子與升華染料混合后沉積在加工件上成膜，實現(xiàn)加工件上的彩色效果，并在此設(shè)定升華杯蒸發(fā)時間，達(dá)到控制鍍?nèi)镜男Ч?/p>

步驟14：在達(dá)到一定的鍍?nèi)拘Ч螅Ｖ股A杯蒸發(fā)，關(guān)閉中加熱環(huán)、加熱環(huán)、加熱片，同時保持前加熱環(huán)的加熱溫度為120℃，防止鍍膜進(jìn)入升華杯內(nèi)；