[發明專利]夾具、原子層沉積裝置及工藝

在審

• 申請號: 201910315387.2
• 申請日: 2019-04-18
• 公開（公告）號: CN110042366A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 張琦忠;袁隕來;王建波;朱琛;呂俊
• 申請（專利權）人: 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/458;C23C16/04;H01L31/18
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 趙松杰

1.一種夾具，其特征在于，包括相對設置的兩塊側板，兩塊所述側板之間設置有兩塊相對設置的端板，兩塊所述端板和兩塊所述側板圍合成兩端開口的容腔，所述端板可移動地固定連接有活動板，所述活動板的移動方向為靠近或者遠離任一所述側板。

2.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于，至少一塊所述端板面向所述活動板的一側設置有滑動槽，所述滑動槽沿著所述活動板的移動方向設置，所述活動板設置有滑動塊，所述滑動塊沿著所述滑動槽的導向滑動。

3.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于，至少一塊所述端板面向所述活動板的一側設置有滑動塊，所述滑動塊沿著所述活動板的移動方向設置，所述活動板設置有滑動槽，所述滑動槽沿著所述滑動塊的導向滑動。

4.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于，所述活動板面向任一所述端板的一側伸出有連接部，所述端板面向所述連接部的側面與所述連接部與可拆卸地固定連接。

5.根據權利要求5所述的夾具，其特征在于，所述端板遠離所述連接部的一側可拆卸地固定連接有底板，所述底板封閉所述容腔的一個開口端。

6.根據權利要求5所述的夾具，其特征在于，所述連接部通過螺釘與所述端板可拆卸地固定連接。

7.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于，兩塊所述端板相互平行，兩塊所述側板以及所述活動板相互平行，所述端板與所述側板垂直。

8.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于，至少一塊所述側板沿著所述容腔的深度方向向外延伸形成伸出部，所述伸出部露出兩塊所述端板之間的空間。

9.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于，所述側板或者所述端板相對的兩側分別設置有第一卡接部和第二卡接部，所述第一卡接部和所述第二卡接部分別位于所述容腔的兩個開口端。

10.一種原子層沉積裝置，其特征在于，包括真空腔，所述真空腔內設置有樣品臺，所述真空腔分別連接有真空泵、第一氣體噴射部、第二氣體噴射部以及第三氣體噴射部，所述樣品臺用于放置權利要求1-9任一項所述的夾具。

11.一種原子層沉積工藝，其特征在于，使用權利要求10所述的原子層沉積裝置進行原子層沉積，包括以下步驟：

將多片被切割的電池片放入活動板與任一側板之間，從容腔的開口端裸露所述電池片的切割部位，調整所述活動板與端板的固定位置，使得所述電池片相互緊貼；

將夾具放在樣品臺上，真空泵動作并將真空腔抽至真空狀態；

第一氣體噴射部將第一反應前驅體充入所述真空腔內，所述第一反應前驅體在所述電池片的切割部位飽和吸附后，所述真空泵將所述真空腔內的所述第一反應前驅體抽空；

第三氣體噴射部將惰性氣體充入所述真空腔內，對所述真空腔進行清洗，所述真空泵將所述真空腔內的所述惰性氣體抽空；

第二氣體噴射部將第二反應前驅體充入所述真空腔內，所述第二反應前驅體與所述第一反應前驅體在所述電池片的切割部位反應生成鈍化膜，所述真空泵將所述真空腔內的所述第二反應前驅體抽空。