[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件檢測設(shè)備中減少定位點數(shù)量的方法

有效

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• 申請日: 2019-04-17
• 公開（公告）號: CN110007207B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張軍輝;張文亮;朱陽軍
• 申請（專利權(quán)）人: 山東閱芯電子科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/01;G01R1/04
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 韓鳳

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件檢測設(shè)備中減少定位點數(shù)量的方法，其在載盤夾爪的下方設(shè)置位置檢測傳感器，在需對載盤組上載盤進(jìn)行夾取時，在得到原點信息后，檢測控制系統(tǒng)控制載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動載盤組上升Na距離，檢測控制系統(tǒng)控制載盤夾爪從釋放位運(yùn)到抓緊位；載盤夾爪夾取相應(yīng)的載盤后，檢測控制系統(tǒng)控制載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動載盤組下降距離(N?1)a，以使得當(dāng)前載盤組內(nèi)最上層載盤位于載盤夾爪下方的Na處，以便根據(jù)上述在原點位置的定位方式進(jìn)行后續(xù)所需的載盤夾取控制。本發(fā)明能簡化定位過程，提高載盤夾取中的定位精度，確保載盤夾取中的穩(wěn)定性與可靠性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種方法，尤其是一種半導(dǎo)體器件檢測設(shè)備中減少定位點數(shù)量的方法，屬于檢測中原點定位的技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在對半導(dǎo)體器件檢測時，需要將待測器件置于載盤上，多個載盤配合形成載盤組，載盤夾爪位于載盤組上方，通過驅(qū)動載盤組上升或下降后，能實現(xiàn)載盤夾爪對載盤組內(nèi)最上層載盤的夾取。

目前，將載盤臺的最低位置設(shè)置為原點，在對載盤夾取時，需要將從原點位置移動到載盤夾取位置的距離以及載盤臺上載盤組的初始層數(shù)預(yù)先輸入控制系統(tǒng)內(nèi)，如此控制系統(tǒng)可以計算出當(dāng)前載盤組最上層載盤需要移動的距離，在抓取最上層的載盤后，驅(qū)動剩余的載盤組運(yùn)動到指定位置，如此往復(fù)，以實現(xiàn)對每層載盤的抓取。

綜上可知，目前對載盤臺上載盤組內(nèi)載盤的抓取時，必須正確的輸入載盤臺上載盤的數(shù)量，計算出當(dāng)前最上層載盤與載盤夾取位置間的距離，否則會發(fā)生嚴(yán)重的機(jī)械事故。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種半導(dǎo)體器件檢測設(shè)備中減少定位點數(shù)量的方法，其能簡化定位過程，可以減少定位點數(shù)量并且無需輸入載盤臺上載盤的初始層數(shù)，簡化定位過程，便于維護(hù)和提高設(shè)備運(yùn)行的可靠性。

按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述半導(dǎo)體器件檢測設(shè)備中減少定位點數(shù)量的方法，包括能支撐載盤組并能驅(qū)動載盤組升降的載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)，在所述載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)的上方設(shè)置用于夾取載盤組內(nèi)載盤的載盤夾爪；

在載盤夾爪的下方設(shè)置用于檢測載盤組內(nèi)最上層載盤位置的位置檢測傳感器，所述位置檢測傳感器與載盤組內(nèi)最上層載盤上側(cè)表面對應(yīng)時，載盤夾爪與載盤組內(nèi)最上層載盤下側(cè)表面的距離為Na，其中，a為載盤組內(nèi)相鄰兩層載盤之間的層間距，N為大于等于2的正整數(shù)；

所述位置檢測傳感器還與能控制載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)、載盤夾爪工作狀態(tài)的檢測控制系統(tǒng)電連接，所述檢測控制系統(tǒng)將位置檢測傳感器所檢測的位置信號設(shè)定為原點信息；

在需對載盤組上載盤進(jìn)行夾取時，檢測控制系統(tǒng)控制載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動載盤組下降至最低位置，并將載盤組從最低位置向載盤夾爪的方向運(yùn)動直至位置檢測傳感器向檢測控制系統(tǒng)傳輸檢測的原點信息；

在得到原點信息后，檢測控制系統(tǒng)控制載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動載盤組上升Na距離，載盤組上升至所需的位置后，檢測控制系統(tǒng)控制載盤夾爪從釋放位運(yùn)到抓緊位，以實現(xiàn)對載盤組內(nèi)最上層載盤的夾取；

載盤夾爪夾取相應(yīng)的載盤后，檢測控制系統(tǒng)控制載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動載盤組下降距離(N-1)a，以使得當(dāng)前載盤組內(nèi)最上層載盤位于載盤夾爪下方的Na處，以便根據(jù)上述在原點位置的定位控制方式進(jìn)行后續(xù)所需的載盤夾取控制。

所述載盤組支撐升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括電缸以及與所述電缸適配連接的載盤臺，在所述載盤臺上的外圈設(shè)置載盤組定位槽，載盤組通過載盤組定位槽能置于載盤臺上。

所述載盤的下側(cè)表面的外圈設(shè)置定位支撐柱，在載盤的上側(cè)表面外圈設(shè)置支撐柱卡槽，所述支撐柱卡槽與定位支撐柱正對應(yīng)；對于兩相鄰的載盤，位于上方載盤的定位支撐柱能嵌置于位于下方載盤的支撐柱卡槽內(nèi)；

載盤組內(nèi)位于最下方載盤的定位支撐柱能嵌置于載盤臺的載盤組定位槽內(nèi)，在載盤的上表面內(nèi)設(shè)置若干用于待檢測物料嵌置的物料卡槽。