[發明專利]一種用于芯片加工的具有殺菌消毒功能的外觀檢測設備

在審

• 申請號: 201910301710.0
• 申請日: 2019-04-16
• 公開（公告）號: CN110057833A
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 蒙澤喜
• 申請（專利權）人: 深圳市貝優通新能源技術開發有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01B11/00;A61L2/08;A61L2/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種用于芯片加工的具有殺菌消毒功能的外觀檢測設備，包括底箱、支架、鏡筒、物鏡、連接桿、連接軸承、兩個目鏡和兩個連接管，所述支架固定在底箱上，所述物鏡設置在鏡筒的底端，所述連接管與目鏡一一對應，所述連接管的軸線與鏡筒的軸線垂直，所述連接管位于支架和鏡筒之間，所述連接管的一端與鏡筒連接，所述目鏡設置在連接管的另一端，所述目鏡的形狀為圓柱形，所述支架上設有消毒機構，所述底箱內設有防塵機構，該用于芯片加工的具有殺菌消毒功能的外觀檢測設備通過防塵機構起到了物鏡防塵的效果，避免灰塵遮擋使用者的視線，不僅如此，還通過消毒機構實現了對目鏡殺菌消毒的效果。

技術領域

本發明涉及芯片檢測設備領域，特別涉及一種用于芯片加工的具有殺菌消毒功能的外觀檢測設備。

背景技術

芯片檢測設備主要針對晶圓上的芯片完成切割后的外觀檢測，比如尺寸、破損、裂粒、氣孔、裂痕、鎳層不良等等，其中，顯微鏡是芯片檢測設備中常見的一種，顯微鏡主要用于檢測芯片的外觀。

現有的顯微鏡在使用時，使用者眼部分泌物易沾染到顯微鏡上，而不同使用者使用后，易形成交叉感染，不僅如此，顯微鏡在長期使用后，鏡面上會出現灰塵，而灰塵會遮擋使用者觀察視線，降低了實用性。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為了克服現有技術的不足，提供一種用于芯片加工的具有殺菌消毒功能的外觀檢測設備。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種用于芯片加工的具有殺菌消毒功能的外觀檢測設備，包括底箱、支架、鏡筒、物鏡、連接桿、連接軸承、兩個目鏡和兩個連接管，所述支架固定在底箱上，所述物鏡設置在鏡筒的底端，所述連接管與目鏡一一對應，所述連接管的軸線與鏡筒的軸線垂直，所述連接管位于支架和鏡筒之間，所述連接管的一端與鏡筒連接，所述目鏡設置在連接管的另一端，所述目鏡的形狀為圓柱形，所述目鏡與連接管同軸設置，所述目鏡的直徑大于連接管的直徑，所述連接軸承安裝在鏡筒上，所述連接軸承的外圈通過連接桿與支架固定連接，所述支架上設有消毒機構，所述底箱內設有防塵機構；

所述防塵機構包括氣缸和防塵板，所述防塵板與鏡筒垂直，所述防塵板位于物鏡和底箱之間，所述防塵板覆蓋在物鏡上，所述氣缸設置在底箱的內壁上，所述氣缸的氣桿與防塵板的遠離物鏡的一側固定連接，所述氣缸的氣桿與鏡筒同軸設置，所述底箱的靠近物鏡的一側設有凹口，所述凹口與防塵板匹配；

所述消毒機構包括轉動組件和消毒組件，所述轉動組件設置在連接桿上，所述轉動組件與鏡筒傳動連接，所述消毒組件包括消毒箱、電磁鐵、通孔、兩個復位單元和至少兩個消毒燈，所述消毒箱設置在鏡筒和支架之間，所述電磁鐵固定在支架的靠近鏡筒的一側，所述電磁鐵與消毒箱正對設置，所述消毒箱的制作材料為鐵，所述通孔設置在消毒箱的靠近鏡筒的一側，所述通孔的內壁上設有清潔布，所述清潔布鋪設在通孔的內壁上，所述通孔的孔徑與目鏡的直徑相等，所述連接管穿過通孔，所述消毒燈均勻設置在消毒箱內的頂部和底部，所述復位組件設置在支架上，所述電磁鐵位于兩個復位組件之間，所述消毒箱與復位組件連接，所述電磁鐵與消毒箱之間設有間隙。

作為優選，為了驅動消毒箱復位，所述復位組件包括滑桿、連接塊和彈簧，所述滑桿與連接管平行，所述支架套設在滑桿上，所述滑桿的一端與消毒箱固定連接，所述連接塊固定在消毒箱的另一端，所述彈簧位于支架和連接塊之間，所述支架通過彈簧與連接塊連接。

作為優選，為了減小滑桿與支架之間的摩擦力，所述滑桿上涂有潤滑油。

作為優選，為了避免目鏡與消毒箱的內壁相撞，兩個連接管上均設有連接環，所述連接管穿過連接環，所述連接管與連接環密封且固定連接，所述連接環的外徑大于通孔的孔徑，所述連接環與消毒箱貼合。

作為優選，為了提高密封性，所述連接環的制作材料為橡膠。