[發(fā)明專利]一種三波段激光增透膜及其制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910297056.0
• 申請日: 2019-04-15
• 公開（公告）號: CN109991691A
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設計）人: 李全民;陳佳佳;朱敏;吳玉堂;王國力
• 申請（專利權）人: 南京波長光電科技股份有限公司
• 主分類號: G02B1/115
• 分類號: G02B1/115;C23C14/54;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/02
• 代理公司: 南京中律知識產權代理事務所(普通合伙) 32341
• 代理人: 李建芳

本發(fā)明公開了一種三波段激光增透膜及其制備方法，三波段激光增透膜，包括基底層，基底層上依次沉積有復合層和MgF₂層；復合層包括交替沉積的YF₃層和ZnSe層，其中，基底層與YF₃層相接，MgF₂層與ZnSe層相接。本發(fā)明三波段激光增透膜，650nm波段的單面反射率≤1％、1570nm波段的單面反射率≤0.25％，10.6μm波段的單面反射率<0.25％，滿足了多波長激光加工設備光學系統的使用要求，光學性能優(yōu)良，且膜層附著力強，耐摩擦性強，耐水性和耐溫性好，既有良好的光譜性能又有較好的機械穩(wěn)性能和穩(wěn)定性；制備重復性好，過程簡單易操作、易控制。

技術領域

本發(fā)明涉及一種三波段激光增透膜及其制備方法，屬于三波段激光增透膜領域。

背景技術

現代可見/近紅外光譜分析技術可充分利用全譜段或多波長的光譜數據進行分析，具有信息量大、速度快、重現性好、測量方便等特點，廣泛用于食品、農業(yè)、化工和制藥等領域。

在現代光學系統中，大多數光學元件都需要鍍減反膜來降低表面反射，尤其是用于特殊環(huán)境到光學系統，除了要求薄膜有較高的光學性能外，還需要能對抗各種惡劣到環(huán)境。

然而現有的增透膜存在易分層、起皮、附著力差等問題，且目前尚無三波段激光增透膜的相關報道。

發(fā)明內容

為了解決膜層分層、起皮、附著力差問題，使得到的膜層既有良好的光譜性能又有較好的機械穩(wěn)性能和穩(wěn)定性，本發(fā)明提供一種10.6μm&1570nm&650nm三波段激光增透膜及其制備方法。

為解決上述技術問題，本發(fā)明所采用的技術方案如下：

一種三波段激光增透膜，包括基底層，基底層上依次沉積有復合層和MgF₂層；復合層包括交替沉積的YF₃層和ZnSe層，其中，基底層與YF₃層相接，MgF₂層與ZnSe層相接。

申請人經研究發(fā)現，YF₃膜層材料不僅折射率低，而且透光范圍也很寬，從可見光到14μm，具有良好的光學性能和工藝性能，是一種非常適合的低折射率材料；另外MgF2具有硬度高，機械性能好，化學性能穩(wěn)定，不易潮解和腐蝕，光學性能方面其主要特點是在真空可見光波段具有較低的吸收，所以最外層使用MgF2，不僅可以提高薄膜的透過率，還能使膜層更耐摩擦；本申請通過特定結構的YF₃、ZnSe、MgF₂三種膜料的結合，使得增透膜在650nm波段的單面反射率≤1％、1570nm波段的單面反射率≤0.25％，10.6μm波段的單面反射率<0.25％，滿足了多波長激光加工設備光學系統的使用要求，且膜層附著力強、耐摩擦性強、耐水性強、耐溫性好，既有良好的光譜性能又有較好的機械穩(wěn)性能和穩(wěn)定性。

為了進一步提高增透膜的力學性能和光學性能，優(yōu)選，YF₃層和ZnSe層的層數相等，均為4-6層。

進一步優(yōu)選，YF₃層和ZnSe層的層數均為5層，也即三波段激光增透膜包括基底層，基底層上依次沉積有第一YF₃層、第一ZnSe層、第二YF₃層、第二ZnSe層、第三YF₃層、第三ZnSe層、第四YF₃層、第四ZnSe層、第五YF₃層、第五ZnSe層和MgF₂層。