[發(fā)明專利]一種具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的便于調(diào)節(jié)的芯片拾取裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910294060.1
• 申請(qǐng)日: 2019-04-12
• 公開（公告）號(hào): CN110323174A
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊寬寬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州市加簡派電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及一種具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的便于調(diào)節(jié)的芯片拾取裝置，包括安裝板、抽氣室、抽氣管、調(diào)整機(jī)構(gòu)、調(diào)整板和若干拾取機(jī)構(gòu)，抽氣室內(nèi)設(shè)有抽氣機(jī)構(gòu)，拾取機(jī)構(gòu)包括橫桿、支桿、滑塊、拾取組件和氣管，調(diào)整機(jī)構(gòu)包括調(diào)整管、調(diào)整桿、密封板、連接管和調(diào)整組件，抽氣機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)、驅(qū)動(dòng)塊、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)盤、抵靠組件、氣缸、調(diào)節(jié)塊、旋翼和兩個(gè)軸承，該具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的便于調(diào)節(jié)的芯片拾取裝置通過調(diào)整機(jī)構(gòu)帶動(dòng)拾取機(jī)構(gòu)中的滑塊沿著橫桿滑動(dòng)，調(diào)節(jié)拾取組件與抽氣管的距離，不僅如此，抽氣機(jī)構(gòu)更加調(diào)整機(jī)構(gòu)的操作調(diào)整旋翼的轉(zhuǎn)速，調(diào)節(jié)吸附力的大小，便于設(shè)備根據(jù)芯片的尺寸重量控制各個(gè)拾取組件的吸力和位置，安全拾取芯片，提高了設(shè)備的實(shí)用性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片拾取設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的便于調(diào)節(jié)的芯片拾取裝置。

背景技術(shù)

集成電路(Integrated Circuit，IC)，也稱微芯片、晶片或芯片，在電子學(xué)中是一種把電路(包括半導(dǎo)體設(shè)備，也包括被動(dòng)組件等)小型化的方式，并時(shí)常制造在半導(dǎo)體晶圓表面。

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，集成電路芯片的厚度越做越薄，芯片的尺寸也越來越多樣化，而在芯片的生產(chǎn)加工過程中，常常需要進(jìn)行芯片拾取的操作?，F(xiàn)有的芯片拾取僅僅依靠單個(gè)吸盤進(jìn)行吸附，采用這種方式拾取時(shí)，無法精確控制吸盤吸力，吸力過大，容易擠壓損壞芯片，吸力過小，又無法拾取芯片，部分設(shè)備增加了多個(gè)吸盤，共同作用進(jìn)行拾取，但是這些設(shè)備在操作時(shí)往往需要調(diào)整吸盤的位置，使得各個(gè)吸盤位于芯片的正上方，不僅如此，吸盤之間間距固定不變，吸盤的吸力無法根據(jù)芯片的尺寸進(jìn)行調(diào)整，這些都降低了現(xiàn)有的芯片拾取裝置的實(shí)用性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的便于調(diào)節(jié)的芯片拾取裝置。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的便于調(diào)節(jié)的芯片拾取裝置，包括安裝板、抽氣室、處理器、抽氣管、調(diào)整機(jī)構(gòu)、調(diào)整板和若干拾取機(jī)構(gòu)，所述抽氣室固定在安裝板的下方，所述抽氣室的頂部設(shè)有若干出氣口，所述處理器固定在抽氣室上，所述處理器內(nèi)設(shè)有PLC，所述抽氣管固定在抽氣室的下方，所述調(diào)整板設(shè)置在抽氣管上，所述調(diào)整板套設(shè)在抽氣管上，所述拾取機(jī)構(gòu)周向均勻分布在調(diào)整板的下方，所述抽氣室內(nèi)設(shè)有抽氣機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)與抽氣機(jī)構(gòu)連接，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)與調(diào)整板傳動(dòng)連接；

所述拾取機(jī)構(gòu)包括橫桿、支桿、滑塊、拾取組件和氣管，所述橫桿固定在抽氣管上，所述滑塊套設(shè)在橫桿上，所述拾取組件設(shè)置在滑塊的下方，所述拾取組件通過氣管與抽氣管連接，所述滑塊通過支桿與調(diào)整板鉸接；

所述調(diào)整機(jī)構(gòu)包括調(diào)整管、調(diào)整桿、密封板、連接管和調(diào)整組件，所述調(diào)整管固定在抽氣管上，所述調(diào)整組件和密封板均位于調(diào)整管的內(nèi)部，所述密封板的外周與調(diào)整管的內(nèi)壁密封連接，所述調(diào)整組件與密封板傳動(dòng)連接，所述密封板通過調(diào)整桿與調(diào)整板固定連接；

所述抽氣機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)、驅(qū)動(dòng)塊、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)盤、抵靠組件、氣缸、調(diào)節(jié)塊、旋翼和兩個(gè)軸承，所述第一電機(jī)和軸承均固定在抽氣室內(nèi)，所述第一電機(jī)與PLC電連接，所述第一電機(jī)與驅(qū)動(dòng)塊傳動(dòng)連接，所述驅(qū)動(dòng)塊的形狀為圓錐柱形，所述轉(zhuǎn)盤抵靠在驅(qū)動(dòng)塊的側(cè)面上，所述轉(zhuǎn)盤套設(shè)在轉(zhuǎn)軸上，所述轉(zhuǎn)盤的兩端分別設(shè)置在兩個(gè)軸承內(nèi)，所述調(diào)節(jié)塊的形狀為U形，所述轉(zhuǎn)盤的遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)塊的一側(cè)設(shè)置在調(diào)節(jié)塊的U形開口內(nèi)，所述氣缸的缸體通過抵靠組件與抽氣室的內(nèi)壁連接，所述氣缸的氣桿的底端與調(diào)節(jié)塊固定連接，所述氣缸的缸體通過連接管與調(diào)整管連通，所述旋翼設(shè)置在轉(zhuǎn)軸上。

作為優(yōu)選，為了實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)盤與轉(zhuǎn)軸的同步轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)方便轉(zhuǎn)盤沿著轉(zhuǎn)軸滑動(dòng)，所述轉(zhuǎn)軸的外周設(shè)有若干側(cè)板，所述轉(zhuǎn)盤的內(nèi)側(cè)設(shè)有若干凹口，所述凹口的數(shù)量與側(cè)板的數(shù)量相等，所述凹口與側(cè)板一一對(duì)應(yīng)，所述側(cè)板設(shè)置在凹口內(nèi)。

作為優(yōu)選，為了減小轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)受到的摩擦力，所述調(diào)節(jié)塊的內(nèi)壁上均設(shè)有缺口，所述缺口內(nèi)設(shè)有滾珠，所述滾珠與缺口相匹配，所述滾珠的球心位于缺口內(nèi)，所述滾珠抵靠在轉(zhuǎn)盤上。