[發明專利]一種微納米級步進式壓電驅動裝置有效
| 申請號: | 201910291891.3 | 申請日: | 2019-04-08 |
| 公開(公告)號: | CN110768570B | 公開(公告)日: | 2022-09-27 |
| 發明(設計)人: | 李建平;萬嫩;郁晨;溫建明 | 申請(專利權)人: | 浙江師范大學 |
| 主分類號: | H02N2/02 | 分類號: | H02N2/02;H02N2/04 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 321004 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 納米 步進 壓電 驅動 裝置 | ||
1.一種微納米級步進式壓電驅動裝置,包括壓電疊堆(3)、非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)、動子(5)、預緊楔塊(2)、預緊旋鈕(1)、預緊旋鈕(7)、底座(6),其特征在于:所述的壓電疊堆(3)設置在非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)內,驅動壓電疊堆(3)驅動非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)伸長,通過控制驅動壓電疊堆(3)實現非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)和動子(5)之間的步進式運動,進而驅動動子(5)的直線精密運動;動子(5)采用帶有滑塊的高精度直線導軌,導軌通過螺釘固定在底座上,用以實現高精度的直線運動;非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)通過螺釘安裝在底座上;壓電疊堆(3)可通過預緊楔塊(2)進行預緊;預緊旋鈕(1)和預緊旋鈕(7)可調節非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)與動子(5)之間的初始預緊力。
2.根據權利要求1所述的微納米級步進式壓電驅動裝置,其特征在于采用非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)的寄生慣性驅動原理,壓電疊堆(3)得電時推動非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)產生兩個方向的復合運動,即主運動和寄生運動,主運動為動子(5)的直線運動,寄生運動為非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)給動子(5)施加預緊力。
3.根據權利要求1所述的微納米級步進式壓電驅動裝置,其特征在于設計的非對稱薄壁式柔性鉸鏈機構(4)與動子(5)壓緊部分為弧形結構。
4.根據權利要求1所述的微納米級步進式壓電驅動裝置,其特征在于動子(5)采用滾珠直線導軌、滾柱直線導軌、V型槽直線導軌、燕尾槽直線導軌。
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