[發明專利]一種金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法

有效

• 申請號: 201910291811.4
• 申請日: 2019-04-12
• 公開（公告）號: CN109930125B
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 陳鋒;朱佳;徐俊
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C23C28/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于具體步驟如下：

1）對金剛石-鋁復合材料進行前處理，包括研磨和超聲清洗；

2）采用超高真空磁控濺射設備，將鉻靶和銅靶安裝于磁控靶上，將清洗后的金剛石-鋁復合材料放置于加熱臺面上，調整復合材料基片與靶材的間距；

3）蓋上真空腔蓋，抽取真空，再通入氬氣；選取直流磁控濺射模式，對樣品先進行磁控濺射鍍鉻，再進行磁控濺射鍍銅；

4）磁控濺射鍍銅后，使腔體冷卻一段時間，停止通入氬氣，打開放氣閥，待臺面溫度冷卻至室溫時取出樣品；

5）退火處理：將鍍好銅的復合材料放入管式爐中進行退火處理，隨爐冷卻后取出。

2.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟1）中的金剛石-鋁復合材料為片狀，表面平整。

3.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟1）中的研磨，采用2000目砂紙，完全去除復合材料表面的污染物。

4.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟1）中的超聲清洗，采用無水乙醇作為清洗液，超聲清洗時間為2min。

5.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟2）中的鉻靶和銅靶，純度為99.99%。

6.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟3）中的抽取真空，真空度小于5×10^-4Pa。

7.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟3）中的氬氣，純度為99.99%，流量為30sccm，工作氣壓為0.5Pa。

8.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟3）中的磁控濺射鍍鉻，施加的偏壓為-50V，功率為50~100W；先進行預濺射，濺射時間為5min；再進行濺射鍍鉻，時間為3~15min，鉻層厚度為200~500nm。

9.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟3）中的磁控濺射鍍銅，施加的偏壓為-50V，功率為50~100W；先進行預濺射，濺射時間為5min；再進行濺射鍍銅，時間為20~40min，銅層厚度為1~2μm。

10.根據權利要求1所述金剛石-鋁復合材料的磁控濺射鍍膜方法，其特征在于：所述步驟5）中的退火處理，其升溫速率為5℃/min，退火溫度為160~230℃，保溫時間為1~2h。