[發(fā)明專利]一種器件壽命測(cè)試平臺(tái)與系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910289747.6
• 申請(qǐng)日: 2019-04-11
• 公開（公告）號(hào): CN109975682A
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜南;李成果;劉寧煬;黎子蘭;王巧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 崔振

本發(fā)明實(shí)施例提出一種器件壽命測(cè)試平臺(tái)與系統(tǒng)，涉及器件檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該器件壽命測(cè)試平臺(tái)包括測(cè)試工作區(qū)、測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)以及測(cè)試數(shù)據(jù)采集區(qū)，測(cè)試工作區(qū)用于放置待檢測(cè)器件，測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)與的測(cè)試工作區(qū)電連接，以向待檢測(cè)器件輸出正向或反向控制信號(hào)，測(cè)試數(shù)據(jù)采集區(qū)與測(cè)試工作區(qū)電連接，且用于獲取待檢測(cè)器件的正向或者反向電壓，并將獲取的正向或者反向電壓傳輸至測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)，測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)用于當(dāng)正向或者反向電壓達(dá)到與預(yù)設(shè)定的電壓值時(shí)，控制待檢測(cè)器件間斷的導(dǎo)通，直至待檢測(cè)器件老化，以測(cè)試出待檢測(cè)器件的壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及器件檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種器件壽命測(cè)試平臺(tái)與系統(tǒng)。

背景技術(shù)

功率循環(huán)測(cè)試是AEC Q101，LV324等車規(guī)級(jí)功率模塊可靠性測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)中的必備測(cè)試，然而，目前市場(chǎng)上的功率循環(huán)測(cè)試臺(tái)都是用于測(cè)試硅基(Si)功率器件，如IGBT，MOSFET等。但是，由于材料的特性，目前的測(cè)試臺(tái)并不適用于其它材料的器件，例如，由于碳化硅(SiC)MOSFET器件在材料特性與器件設(shè)計(jì)方面與流行的IGBT器件略有不同，造成市場(chǎng)上現(xiàn)有的功率循環(huán)測(cè)試臺(tái)無法完成其它材料器件的測(cè)試工作。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種器件壽命測(cè)試平臺(tái)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)試臺(tái)僅能實(shí)現(xiàn)對(duì)硅基功率器件的測(cè)試。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種器件壽命測(cè)試系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)試臺(tái)僅能實(shí)現(xiàn)對(duì)硅基功率器件的測(cè)試。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例采用的技術(shù)方案如下：

一方面，本發(fā)明實(shí)施例提出一種器件壽命測(cè)試平臺(tái)，所述器件壽命測(cè)試平臺(tái)包括測(cè)試工作區(qū)、測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)以及測(cè)試數(shù)據(jù)采集區(qū)，所述測(cè)試工作區(qū)用于放置待檢測(cè)器件，所述測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)與所述的測(cè)試工作區(qū)電連接，以向所述待檢測(cè)器件輸出正向或反向控制信號(hào)，所述測(cè)試數(shù)據(jù)采集區(qū)與所述測(cè)試工作區(qū)電連接；所述測(cè)試數(shù)據(jù)采集區(qū)用于獲取所述待檢測(cè)器件的正向或者反向電壓，并將獲取的所述正向或者反向電壓傳輸至所述測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)，所述測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)用于當(dāng)所述正向或者反向電壓達(dá)到與預(yù)設(shè)定的電壓值時(shí)，控制所述待檢測(cè)器件間斷的導(dǎo)通，直至所述待檢測(cè)器件老化，以測(cè)試出所述待檢測(cè)器件的壽命。

進(jìn)一步地，所述器件壽命測(cè)試平臺(tái)還包括溫度控制區(qū)，所述溫度控制區(qū)與所述測(cè)試工作區(qū)連接，所述溫度控制區(qū)用于維持所述待檢測(cè)器件的溫度。

進(jìn)一步地，所述測(cè)試工作區(qū)設(shè)置有冷卻板，所述待檢測(cè)器件與所述冷卻板連接，且所述冷卻板與一冷卻水管連接，所述溫度控制區(qū)與所述冷卻水管導(dǎo)通，所述溫度控制區(qū)用于通過所述冷卻水管控制所述冷卻板的溫度，以維持所述待檢測(cè)器件的溫度。

進(jìn)一步地，所述測(cè)試工作區(qū)還包括溫度檢測(cè)裝置，所述溫度檢測(cè)裝置與所述溫度控制區(qū)電連接，所述溫度檢測(cè)裝置用于測(cè)量所述待檢測(cè)器件的環(huán)境溫度，所述溫度控制區(qū)用于依據(jù)所述環(huán)境溫度控制所述冷卻板的溫度，以維持所述待檢測(cè)器件的環(huán)境溫度不變。

進(jìn)一步地，所述器件壽命測(cè)試平臺(tái)還包括負(fù)載輸出區(qū)，所述負(fù)載輸出區(qū)分別與所述測(cè)試工作區(qū)、所述測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)電連接。

進(jìn)一步地，所述負(fù)載輸出區(qū)包括輔助開關(guān)，所述輔助開關(guān)與所述測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)電連接，所述測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)用于控制所述的輔助開關(guān)的關(guān)斷，以實(shí)現(xiàn)控制所述待檢測(cè)器件間斷的導(dǎo)通。

進(jìn)一步地，所述器件壽命測(cè)試平臺(tái)還包括的配電箱，所述負(fù)載輸出區(qū)還包括直流電流源，所述直流電流源與所述配電箱電連接，所述輔助開關(guān)處于閉合狀態(tài)時(shí)，所述負(fù)載輸出區(qū)為所述待檢測(cè)器件提供電流。

進(jìn)一步地，所述器件壽命測(cè)試平臺(tái)還包括觀察區(qū)，所述觀察區(qū)與所述的測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)電連接，所述測(cè)試數(shù)據(jù)處理區(qū)還用于將數(shù)據(jù)傳輸至所述觀察區(qū)進(jìn)行顯示。